【精品*】压电叠堆促动器
Newport压电叠堆促动器配备高度可靠、多层低电压的压电换能器堆栈。其内部预装载了具有高共振频率的机械结构,是高负载、动态纳米定位应用的理想选择。
产品特色:
Newport-NPA系列压电转换器非常适合集成到定制运动设备中,在极其紧凑的外壳中可达到纳米级分辨率、高达 100 微米行程范围和微秒级响应时间。 NPA的转换器配备非常可靠的多层低电压压电换能器 (PZT) 叠堆,由圆柱形不锈钢外壳提供保护。可实现高负载动态应用。
转换器可产生高达 1000 N 的负载力,使其非常适合用于加工工具、主动振动隔离或其他自适应机制。它们小巧的尺寸和高共振频率适合扫描显微镜、激光调谐、光束控制、膜片钳或微光刻应用。
促动器可提供开环(无位置反馈)设备或具有集成式位置反馈的闭环设备。
þ 亚纳米定位分辨率
NPA压电叠堆促动器的定位分辨率低至0.05nm,因此可以进行超精细调节,且分辨率仅受限于控制电子器件的噪声。
þ 载重能力超高
NPA 压电叠堆促动器可以产生高达1000 N的力,因而特别适用于机床、主动隔振或自适应机制。
þ 适合闭环工作的可选应变计
闭环版本具有高分辨率位置传感器,可实现高精度且可重复的运动,而且还会对促动器的移动进行补偿。装配基于完整的惠斯通电桥进行,并且对温度不敏感。闭环设备可用于开环或闭环控制。
þ 真空兼容版本
NPA 压电叠堆促动器具有真空兼容版本,可在真空 (10-6 Torr) 环境中使用。
þ 节约空间的尺寸
NPA压电促动器具有非常紧凑的结构外形,有效减少促动器空间占比。
兼容产品: 控制器
Newport*的XPS控制器与NPAxxx-D型的纳米定位促动器兼容。
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