CA90圆柱度仪

　　主轴轴向误差

　　X=到主轴中心间隔±(0.03+6X/10000)μm

　　工作台

　　台面直径φ260mm

　　调整规模调偏疼±2mm;调水平±1°

　　反转直径φ500mm

　　旋转速度0-12转/分

　　Z轴（立柱）

　　直线度（窄规模）0.5μm/100mm

　　直线度（全规模）0.8μm/400mm

　　光栅分辨率无

　　反转轴线与Z轴导轨平行度

　　反转轴线与

　　Z轴导轨平行度2μm/500mm(母线基准)

　　水平臂（横导轨）

　　移动精度2μm/150mm

　　水平移动间隔200mm

　　光栅分辨率无

　　传感器

　　量程500μm(半径差)

　　分辨率0.005μm

　　测针形状2mm宝石球测头（有更多直径可选择）

　　测力1-12g

　　数据收集

　　数据收集14400点/周（用）

　　扩大倍率

　　扩大倍率20万倍主动

　　评定办法

　　评定办法LSC（zui小二乘法）、MZC（zui小区域法）、

　　MIC（zui大内切圆法）、MCC（zui小外接圆法）

　　滤波值

　　滤波值1-500、1-150、1-50、1-15、3-16、3-17、15-500、17-100 upr

　　数据剖析处理

　　频谱剖析剖析不同频率成分的幅值

　　反常数据除掉手动或主动除掉反常数据，如毛刺、孔及凸点等

　　文件办理测量数据主动保存，可删除

　　数据打印可选用单个或多个测量成果同页打印模式

　　安装要求

　　电源220-240V AC,50HZ，独自地线；zui大功率耗费450W

　　压缩空气纯净压缩空气：气压0.4MP，耗费0.1m3/min（气源供给0.6MP，0.25m3/min以上）

　　环境要求工作温度：10°-30°（常温）；湿度20-80%RH（无结露），良好地线，无显着振源