型号

CL-L007N*1

CL-L015N*1

CL-L030N*1

CL-L070N*1

图像

类型

光学单元

探头

CL-L007 *1

CL-L015 *1

CL-L030 *1

CL-L070 *1

基准距离

7 mm

15 mm

30 mm

70 mm

标准设定范围

测量范围

± 1.5 mm

± 1.3 mm

± 3.7 mm

± 10 mm

直线性

± 2.1 µm *2

± 0.49 µm *2

± 0.94 µm *2

± 2.2 µm *2

高精度测量范围

测量范围

± 0.5 mm

± 1.0 mm

± 3.0 mm

直线性

± 0.91 µm *2

± 0.41 µm *2

± 0.72 µm *2

± 2.0 µm *2

分辨率

0.25 µm *3

光点直径

ø 750 µm

ø 300 µm

ø 500 µm

ø 600 µm

激光级别

光学单元

Class 1

采样周期

100/200/500/1000 µs(4 段可调)

环境抗耐性

保护结构

探头

IP67(IEC60529)

环境光照

物体面照度 30000 lux(白炽灯)

环境温度

0 至 50℃

相对湿度

20 至 85%RH(无结露)

耐振动性

探头

10 至 57 Hz 多幅振幅 1.5 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

光学单元

10 至 57 Hz 多幅振幅 0.3 mm X、Y、Z 方向各 2 小时

耐冲击性

15G 6 ms

温度特性

探头

0.005% of F.S. /℃

光学单元

0.015% of F.S. /℃

材质

探头

SUS

前部：SUS 后部：铝合金

光学单元

聚碳酸酯

重量

探头

约 140 g

约 180 g

约 200 g

约 280 g

光学单元

约 1600 g

*1 探头和光学单元可进行微调。无互换性。
*2 通过位移模式测量本公司标准工件(镜面体)的值。
*3 按平均次数 16384 次测量本公司标准工件(镜面体)的值。