真空手套箱是将高纯惰性气体充入箱体内，并循环过滤掉其中的活性物质

的实验室设备。也称手套箱、惰性气体保护箱、干箱等。主要对O2，H2O，

有机气体的清除。广泛应用于无水、无氧、无尘的超纯环境，如：锂离子

电池及材料、半导体、超级电容、特种灯、激光焊接、钎焊等。

中文名 真空手套箱 水含量 小于1ppm 氧含量 小于1ppm 泄漏率 ≤

0.05Vol%/h

目录

1 技术指标

2 配置清单

3 安装环境

4 如何选择

5 功能

6 操作前

7 操作时

8 维修保养

技术指标编辑

1、水含量小于1ppm； 氧含量小于1ppm。

2、过渡舱可承受：真空度≥100pa。

3、密闭性：泄漏率≤0.05Vol%/h

配置清单编辑

箱体

机架

工具过渡舱

物料过渡舱

搁物架

可视面板

手套孔

手套

电源插座

照明系统

HEPA过滤器

真空表

压力表

脚踏控制器

气体净化系统

PLC控制系统

有机气体吸附器

真空泵

水传感仪

氧传感仪

压力传感仪

加热系统

冷冻系统

其他选配

安装环境编辑

电：需要220V/50Hz；

水：需将普通自来水接入净化系统的冷却水进口，将水箱加满为止,不需长

期打开阀门；

气：需要提供惰性气体（N2或Ar）或混合气（N2或Ar占90%，H2占10%），

如没有此混合气体也可以用N2或Ar和H2的纯净气体按比例进行混合代替。

如何选择编辑

首先我们确定是需要几个人操作的箱体，即几个工位。

真空手套箱是1个人操作，多则不限制。

1个人操作的手套箱一般有以下尺寸规格：

5521101型（单面2个手套孔），箱体外形尺寸l*w*h≈900×700×850mm

5621101型（单面2个手套孔），箱体外形尺寸l*w*h≈1200×850×1000mm

5631101型（单面3个手套孔），箱体外形尺寸l*w*h≈1600×850×1000mm

然后要明确告诉生产厂家，箱体内可能接触到的物料名称，以此来确定手

套箱箱体需要的材质。

就是根据自己的实验、生产要求，确定必要的配置清单，以免购置不需要

的部件。比如实验中对水份含量要求高，对氧气含量没有要求，则可以不

用购买氧传感仪器。

功能编辑

1、密闭循环：真空手套箱和气体净化系统构成一个密闭的循环系统，由气

体净化系统提供气体循环动力。

2、人机对话：配置彩色触摸屏，中文界面，实现人机对话，操作便捷

3、自动控制（由彩色触摸屏的人机界面和PLC程序控制系统集成对系统进

行控制）

实现功能：手/自动控制箱体压力；

手/自动控制气体净化系统的净化状态；

自动控制气体净化系统的还原过程；

手/自动净化系统还原、净化及转换净化柱（配置双净化柱时）；

自动箱体气氛报警；

箱体内气氛和压力参数设置和手/自动转换；

气体净化系统自动控制功能的参数设置；

查阅系统历史纪录；

气体净化系统执行机构工况检测；

程序控制系统的操作错误和警告提示；

4、还原、再生

净化系统采用可再生/还原的净化材料，还原程序由系统自动控制；

还原、再生时需满足供电和提供（5-10%）加惰性气体的混合气体。

5、防误操作：系统通过PLC程序控制系统自动检测工作过程中的条件和设

备运行状态，如有错误系统发出错误操作或条件不足的提示指令，设备运

行更安全，操作人员能更方便地使用设备。

真空手套箱生产厂家，会提供安装使用维护说明书，一般会到买家现场为

其安装、调试手套箱。

操作前编辑

1、检查氮气瓶里是否有氮气，氮气要及时更换，氮气的输出压力设定为

0.5mpa。

2、检查真空泵是否正常开启。

3、检查手套箱内循环是否打开。（净化柱-I或净化柱-II要打开其中的一

个）

4、检查设定里的上限压力应为+1，下限压力为0

5、检查氧和露点是否正常（氧为0.1ppm以下，露点-40以上）

6、过度舱真空泵应处于常开状态

操作时编辑

1、系统工作中真空泵应保持开启状态。

2、当箱内氧气浓度超出200PPM时，应通知设备维修人员进行系统操作，否

则会破坏水、氧净化系统

3、在启动循环前做检查，是否在进行箱体情况或再生。如以上提及的操作

正在进行，禁止进行循环。

4、:两个净化柱不可以同时再生。

A、再生前先保证手套箱内已被惰性气体清洗干净（H2O<200ppm）保证足够

的再生气体供应。再生气体压力为0.06-0.08mpa。

B、启动再生之前，请先确认相应的净化柱循环已关闭。

C、再生过程需要24小时，一旦执行不能被断开，再生开始后3-6小时通再

生气体注意再生气的用量，适

当调整再生气体的压力，包证再生气在这3小时的充足供应，第6小时后可

以关闭再生气源。

D、再生过程中真空泵不可以关闭，不要触摸净化柱的顶部，以防。

E、再生一旦意外终止，请保证12小时内不能重新启动该净化柱的再生和循

环否则将损坏设备。

5、作业中应注意保护作业手套不要被损坏。

维修保养编辑

1.一级保养：

1.1 日常清洁。 每天一次

2.二级保养：

2.1紧固各部分易松动螺丝螺帽 。 每月一次

2.2紧固各电气元器件。 3个月一次

2.3校正温度。 3个月一次