日本电测EX-731型荧光X-Ray镀层测厚仪
规格参数：
测量台操作方式 | 手動 | 自動 | ||
测量行程 | 单位(mm) | 170 × 110 | 300 × 280 | |
移動量 | X(mm) | 70 | 80 | |
Y(mm) | 70 | 60 | ||
Z(mm) | 80（測定物高zui大150） | 50 | ||
測定物高（zui大） | 80（150可选） | 50 | ||
外形(mm) | 600(W)×465(D)×730(H) | |||
重量(kg) | 79 | 85 | ||
测量台载重(kg) | 3 | 1 | ||
電源 | AC200V±10V | |||
X線源 | 油浸式小型微焦点Ｘ線管 |
照射方式 | 上面垂直照射方式 |
検出器 | 比例計数管 |
准直孔 | 5種類(自動切換式) |
样品观察 | CCD镜头 |
測定対象 | 原子番号22(Ti)～82(Pb) |
滤波器 | (Co、Ni)自動切換 |
厚度测定范围 | 原子番号22～24：0.2～約20μm |
検量線 | 検量線自動作成 |
测量功能 | 単层膜厚測定 |
测量模式 | 自動测量 |
自動测量台功能 | 測定位置(X-Y-Z) 測定位置确认功能 |
数据処理機能 | 統計量表示：平均、標準偏差、zui大、zui小、方差、Cp、Cpk |
可测量厚度元素种类： |
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