XM 系列超线性平移台可提供持续、可靠的动力性能，运动精度可以达到 1 nm。如此强大的定位能力使其成为各种要求苛刻、突破性应用的理想选择。

• 性能，小增量运动为 1 nm

• 非接触直接驱动系统，精度、动态性能且操作可靠

• 亚纳米级玻璃标度编码器，重复精度为 80 nm

• 超大型无铁心线性电机可限度地减少发热

• 抗蠕变交叉滚子轴承可确保无波纹运动

• 可选花岗岩底座可确保超平稳安装条件以实现性能

特征

适用于激光加工应用

3轴超

可以通过命令控制 1 nm 位移步长

的中心驱动、无铁、直接驱动线性电机

配套的抗蠕变交叉滚子轴承可实现控制

面向 XY 组件的 T 形托架设计

具有超表面平整度的花岗岩底座

误差显示服务

用于超可重复移动的高线性玻璃标尺

电动线性位移台，线性电机，50mm行程，100N载重，M4和M6

型号： XMS50-S

XMS50-S超性能线性位移台具有的动态性能，能够在50mm的行程范围内持续、可靠地移动至1nm。且紧凑XM级在复杂的轨迹上支持鲁棒的、可重复的运动，具有的精度。XM性能采用设计的部件和设计，限度地减少磨损和电机发热，让您的长期运动投资化。XM-S位移台是一种超的解决方案，适用于激光加工、半导体晶片加工、传感器测试和校准、超装配以及其他具有高动态响应的扫描应用。XMS-S级生产线旨在与XPS-D控制器一起使用。 需要相关的驱动模块和电缆套件，所有-S位移台必须单独购买。(见下文附件部分)。

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际出售价格。

如果想了解更多产品信息以及货期，可致电我司咨询，青岛森泉光电有限公司。

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