TMC 主动隔振系统 STACIS III

产品介绍：

STACIS®III是进的主动振动隔离系统。采用的惯性振动传感器，复杂的控制算法，和进的压电致动器。STACIS通过连续测量地板活动、扩大和收缩压电致动器过滤地板振动来进行实时隔离振动。

初被设计用于半导体工厂的显微光刻、计量和检测设备的隔振，STACIS现在是嘈杂环境中敏感仪器的行业标准解决方案，包括但不局限于半导体晶圆厂、失效分析实验室、纳米技术研究、纳米加工设备和材料研究。

STACIS III包括一个改进的数字控制器——DC-2020。它的前后面板上有双核处理器，以太网和USB串口，这个控制系统为用户提供了一个现代的、易于使用的图形用户界面(GUI)。

拥有在世界各地的数百个成功安装案例，STACIS对于大部分振动敏感仪器来说都是理想的振动消除系统。

DC-2020 for STACIS III：
带有图形化用户界面的新代STACIS数字控制器
STACIS® 系统标准配置DC-2020，用户无需单独选购。
STACIS® 系统安装在为客户定制设计的 TMC Quiet Island® 上subfloor ，为电子束光刻提供消震

STACIS® III特征及优点：
▪ 新改进型DC-2020数字控制器，提供易于使用的图形用户界面
▪ 隔振开始于0.6赫兹，1Hz时达到40％至70％的隔离率
▪ 频率2赫兹和更高时，垂直和水平隔震率大于90％
▪ 降低基础设施的要求和建设成本，即使有较大外界震动设备也可正常运行
▪ 有效隔震范围，0.6赫兹到150赫兹
▪ 众多用户的认可和肯定
▪ 6向自由度硬安装设计，无需空气悬架
▪ 强大的控制系统无需定期重新校准
▪ point-of-use设计方案，与客户现有隔振系统无缝兼容
▪ 随着外部环境改变，系统自动调节以适应不同外部震动情形
▪ TMC的STACIS®技术使用压电执行器主动消振
▪ 数字控制器与基于PC的图形用户界面（GUI）
▪ 改善陈旧设施的隔震能力，以适应设备要求
▪ 与各楼层高度和楼子的几何形状，晶圆厂兼容
▪ 提高客户产量，质量和成品率
▪ 符合RoHS标准
▪ zui宽的主动隔振带宽，的低频隔振效果
▪ 亚赫兹的主动震动消除，主要在0.6-6Hz频段内的隔振
▪ 可堆叠式设计
▪ 主动硬式安装结构，而非软式悬浮，无低频漂移：主动元件与刚性弹簧相连
▪ 被动弹簧滤除了来自Stacis传感器的负载谐振，需要的调谐非常少，甚至无需调谐
▪ 由于阻抗不匹配，可兼容仪器内部隔离器
▪ 大负载，可达 2000kg
▪ 市场是zui的隔振系统

STACIS用户及应用领域：
1、微电子、半导体

▪晶片检测

▪显微光刻技术

▪掩膜校准
2、科学研究、纳米技术

▪SEM、TEM

▪STEM、SPM

3、激光台

▪生命科学、研发

4、工业应用

▪加工

为什么要选择主动系统？
▪从<1Hz开始强烈消除地面震动，气动平台在这*低频处无法起到隔振
▪提高吞吐量、质量、生产量
▪更加细小特色的成像能力
▪研究前沿
▪比气动平台更稳定
▪满足SEM标准地点安装参数的唯①解决方案
▪使得新实验室及研究设备的工程造价更低

为何选择主动系统, 为何选择STACIS ?
▪正中研究者、科学家、设计者对于无振动环境的需求
▪市场上强劲的低频隔振系统。
▪目前，所有的SEM厂商都公布了安装参数要求，其需要的震动参数需要主动隔振系统
▪STACIS 发明于1990年, 经TMC发展，开发了数以千计的安装系统，这为隔振控制领域提供了可靠技术.

STACIS相比气动隔离器刚性大400倍 ?

稳定时间作为对扰动的响应，由于的串联式设计，而大大缩短，理想应用于机械制造、动态负载、激光或者光源需要安装的独立刚性台面的情况下。

如下优势在业内都是被认可的 :
▪STACIS的主动隔振带宽为 0.6Hz - 150Hz
▪6个自由度的主动震动消除，在1Hz时隔振8-10dB
▪从2-3Hz时，隔振可达90% (20dB)

的环境调查 :
1、安装前后的环境调查，包括震动、磁场、声波
2、安装后可提供环境系统体系认证

▪完善的环境调查服务

▪开具环境报告

▪提供震动、磁场、声波检测及解决方案

▪性覆盖。有求必应，博学多才

▪TMC基于其经验向用户实用性方案

▪40多年的行业经验

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际出售。

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