Newport 新产品 GTS70V 垂直线性位移台 70mm长行程，GTS 系列

产品优势：与其他垂直位移台相比，可实现较长的行程范围（70mm），*的速度以及的准确度和可重复性。任何方向都可无障碍接近负载。

产品介绍：

GTS70V是一种紧凑、行程长的平台式垂直工作台，结合了的轨迹精度和0.1μm小增量运动的能力以及70 mm的行程范围。其特点包括：一个垂直导向系统，由配对的抗蠕动交叉滚柱轴承组成，可实现、无波纹运动；一个折叠直流电机，具有地面和低摩擦丝杠，设计用于提供超平滑运动；一个线性编码器，可实现。GTS70V即使在重载情况下也不会倒车，从而提供位置稳定性。电机和丝杠之间的减速带增加了可用的输出扭矩和伺服回路灵敏度的鲁棒性。GTS70V适用于半导体晶圆检查、扫描、显微镜、激光加工、自动设备校准、计量、质量控制和需要70 mm长行程垂直运动的应用。

GTS70V是一个紧凑，长程，的垂直线性平台，结合了轨迹精度和能力，0.1μm小增量和70mm行程。特点包括：一个垂直导向系统，由配对的抗蠕变交叉滚子轴承，导致，无波动的运动，一个折叠直流电机与地面和低摩擦丝杠设计提供超光滑的运动和的线性编码器。GTS70V即使在负载很重的情况下也不会反向驱动，提供了的位置稳定性。电机和丝杠之间的减速带增加了可用的输出扭矩和对伺服回路灵敏度的鲁棒性。GTS70V适用于半导体晶圆检测、扫描、显微、激光加工、自动设备校准、计量、质量控制以及需要长行程垂直运动70毫米的应用。

产品特点：

• 30 mm or 70 mm of precision vertical travel in a compact unit

• Unobstructed access to the payload from any direction

• High sensitivity, excellent repeatability and high accuracy motion from an integrated linear or rotary encoder

产品的技术参数：

• 行程范围

  70 mm

• 小位移增量

  0.10 µm

• 速度

  10 mm/s

• 中心负载

  40 N

• 精度，保证值

  ±1.0µm

• 双向重复精度，保证值

  ±0.2µm

• 俯仰，保证值

  ±80 µrad

• 滚转，保证值

  ±80 µrad

• 直线度典型值（保证值）

  ±5.0(na) µm

• 重量

  3.3 kg

• MTBF

  20,000 hours at 25% load and 30% duty cycle

产品设计细则：

产品的负载特性及刚性：

兼容产品列表：

1、型号：XPS-D88

产品描述：轴通用控制器/驱动器，以太网

2、型号：XPS-DRV11

产品描述：Motion Controller Card，Universal，Stepper，DC，ａnd Linear Motors

3、型号：XPS-DRV01

产品描述：PWM驱动模块，用于直流电刷和步进电机，3A/48V

4、型号：ESP301-1G

产品描述：ESP301电机控制器/驱动器，单轴，GPIB，USB，RS232

5、型号：SMC100CC

产品描述：单轴直流电机控制器/驱动器

配件产品列表：

1、型号：MMCABLE-REG

产品描述：内联调节器，5VDC，适用于5m或更长的MMCABLE

2、型号：M-FK-BLX

产品描述：L型艾伦内六角扳手组合，尺寸：1.5、2、2.5、3、4、5、6、8、10mm，公制

产品尺寸图，可参考：

注意：具体请咨询，网上标价不作为实际成交。

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