GV400爱德华干式泵干式螺旋真空泵浦乃是利用一对互相咬合的螺旋转子，在转子间维持微小的间隙，使得真空泵浦运转时腔体内无需润滑，因而无油气回漏污染的问题。透过转子线形良好的密封效果，压力可达7.5×10-3Torr。螺旋式真空泵浦由于排气路径短，粉尘移除能力较其他型式的真空泵浦强，加上转子表面披覆特殊材质的镀膜，因此可适用于PECVD、Etching等严苛制程。东莞钥大真空设备有限公司提供Pfeiffer普发、Leybold莱宝、adixen阿尔卡特、Edwards爱德华、Varia瓦里安、ULVAC爱发科等进口品牌的真空泵 螺杆泵维修保养服务

GV400爱德华干泵维修流程

（1）擦净零件，疏通油孔 。

（2）把旋片及弹簧装入高级转子槽内后，把高级转子装入泵身内，装上高级泵盖、肖、螺钉、键、轴套等，用手旋转，应无滞阻和明显轻重。

（3）低级转子装配同上。

（4）装止回阀叶轮部件，应使止回阀平面对准进油咀孔二用于轻轻挡住叶轮并旋转转子，油孔应时开时闭，调整阀头平面开启高度为0. 8-1. 1mm。

（5）装上泵部的排气阀、挡油板等零件。

（6）把泵部件、键、轴套、电机装在支座上。

（7）装油箱。

（8）插入进气咀、气镇阀、装上压板，螺钉紧固。

注意：

（1）装配时，各摩擦面应涂上清洁的真空泵油。

（2）记住零件的原装配位置，可减少跑合时间。

（3）紧固体应无松动，紧固时应均匀施力。

（4）对磨损零件应检查，并酌情修理或调换。

（5）总装结束后，可以从泵进气口加入少量泵油，然后用手转动，转动时，手的感觉应是阻力均匀，无明显阻滞现象。

我们将按GV400爱德华干泵维修流程，为客户保证维修之设备的质量