ekasuga真空兼容静电电位传感器KS-3101
大气压和真空下的线性度
该图显示了使用 KS-3101 在真空室中施加任意电压测量带电板的电位的结果。即使在不同的压力环境下（真空下10-3Pa，大气压下10+5Pa），无需校准也能得到相等的测量值。
*此数据为实测值，并非保证值。
使用真空兼容静电势传感器测量对真空室的影响
脱气分析比较
对传感器放出的气体的分析证实，气体的主要成分是水和微量碳氢化合物。由于每个峰值与背景中测量的峰值相同，因此认为它源自环境中吸附在传感器表面上的气体。
●极限真空的比较
排气系统：涡轮分子泵TG220FCAB，Osaka Vacuum Co., Ltd.制造
排气速度：220L/sec(N2)
腔室尺寸：φ300×L 300mm
*此数据为实测值，并非保证值。
规格
| 模型 | KS-3101 |
|---|---|
| 检测方法 | 振动表面电位传感器 |
| 推荐真空度 | 10 5 Pa（大气压力）、10 -1至10 -5 Pa |
| 测量范围 | HIGH量程：0～±20.0kV（测量距离100mm） LOW量程：0～±2000V（测量距离10mm） |
| 测量精度 | ±10%以内 |
| 警报 | 检测传感器故障LED显示 |
| 使用环境 | 温度0-40℃，湿度65%以下（无结露） |
| 大量的 | 约 130g（不包括电缆和控制盒） |
| 配置要领 | 真空电缆：KS-3101-C01（电缆长度1m，可延长） 控制箱：KS-3101-B05（带大气侧电缆5M，可延长） 控制器：KSD-0110 或 KSD-0120 |
*真空法兰需客户自备。
作品
控制器
KSD-0110
支持触摸屏和SD卡的高性能型
KSD-0120
强调可见性的简单类型
*请在各自的页面上查看控制器 KSD-0110 和 KSD-0120 的规格。
各部分尺寸/名称
（1）测量单元（
2）调零单元（
3）外壳（不锈钢镜面）（
4）安装垫片（铁氟龙）（5）
量程选择开关（
6）运行/故障指示灯
（7）充电指示灯(0, +, -) (
8) 专用电缆（带连接器）
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