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当前位置:深圳市吉银国际贸易有限公司>>集成电路(IC)>>接口/传感器>> ACP 28pfeiffer-vacuum ACP 28 A 100 L ES ACG 600 G 罗茨泵

pfeiffer-vacuum ACP 28 A 100 L ES ACG 600 G 罗茨泵

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参  考  价:面议
具体成交价以合同协议为准
  • 产品型号:ACP 28
  • 品牌:
  • 产品类别:接口/传感器
  • 所在地:
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  • 样本:
  • 更新时间:2022-06-01 16:08:30
  • 浏览次数:11
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产品简介

清洁和干燥应用的解决方案普发真空多级罗茨泵为各种应用和市场生成清洁和干燥的真空环境

详情介绍

  清洁和干燥应用的解决方案

普发真空多级罗茨泵为各种应用和市场生成清洁和干燥的真空环境。

  例如,小型 ACP 罗茨泵在粒子中形成涡轮分子泵所需的前级真空。具有高抽速和低最终压力的大型 ACP 120 泵可用于冷冻干燥应用。A 100 L 和 A 200 L 是用于装载互锁和传输室的紧凑型干式泵,专为集成到半导体系统或晶圆厂底层地板而开发。A3、ADH 和 A4多级罗茨泵在半导体和涂层行业中被大量用作流程泵。所有这些应用都有一个共同点:它们均需要一个洁净、干燥的真空环境。

  在此,多级罗茨泵技术是的解决方案。其无摩擦工作泵送模块在转子和定子之间无需润滑剂和密封材料。所以,可以避免烃类蒸汽回流。在泵的吸入室,不处理任何密封材料。这意味着泵里没有粒子,长期可靠且稳定,这将会带来低拥有成本。

多级罗茨泵在洁净工艺上的使用领域

  ACP 系列的风冷式罗茨多级泵低维护,性能稳定,与众不同。它们可用于工业或粒子应用以及半导体生产的清洁工艺。

  A 100 L 和 A 200 L 紧凑型罗茨泵因其较小的尺寸而可以轻松地集成到系统中。半导体的装载互锁与传输室是这种类型泵的典型应用领域。

  ACP 120 系列带有水冷却的多级罗茨泵用坚固的铸造金属制成。就像 ACG 600 系列罗茨泵站一样,它们用于需要较高抽速的研究、开发、真空喷涂和冶金行业。

侵蚀性的应用不成问题

  A3P 至 A4XN 系列多级罗茨泵是为半导体和光伏生产的侵蚀性工艺而开发的,在此类应用中,必须传输少量的腐蚀性气体或冷凝物。A3P 和 A3XN 泵紧凑且高能效。低噪音开发和低振动水平是该系列的突出特征。A4 系列多级罗茨泵的抽速可高达 3,000 m3/h,采用防腐材料制成。

  媒介耐受性以及高气体流通量使这些多级罗茨泵成为半导体行业 CVD 工艺应用的解决方案。ADH 系列专门为太阳能、半导体和 LED 市场的轻气体和高流量应用工艺而开发,N2 和 H2 的高性能抽速可达 600 至 4,500 m3/h。由于具有优异的抗静态和动态内应力能力,所以泵能提供增强的安全性。

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