日立 SU5000高新热场式场发射扫描电镜
电子枪
ZrO/W 肖特基式场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV
着陆电压
0.1~2kV
分辨率
2.0nm@1kV 1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式 2）
放大倍率
底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍
5轴马达台
X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360°
*1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项
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日立SU5000高新热场式场发射扫描电镜电子枪ZrO/W肖特基式场发射电子枪加速电压0
日立 SU5000高新热场式场发射扫描电镜
电子枪
ZrO/W 肖特基式场发射电子枪
加速电压
0.5~30kV
着陆电压
0.1~2kV
分辨率
2.0nm@1kV 1）、1.2nm@30kV、3.0nm@15kV 低真空模式 2）
放大倍率
底片倍率：10~600000倍、显示倍率：18~1000000倍
5轴马达台
X：0~100mm、Y：0~50mm、Z：3~65mm、T：-20~90°、R：360°
*1：减速模式是选配项 *2：低真空模式是选配项
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