德国Bruker Contour X 白光干涉光学轮廓仪
•样品尺寸:
•150 mm x 150 mm x 92 mm
•承载 4.5 kg
•垂直分辨率:
•横向分辨:
•0.3µm (±150nm)
•AcuityXR 0.15µm (±75nm)
•基于白光干涉原理,结果可溯源
白光干涉技术内在优势:
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德国BrukerContourX白光干涉光学轮廓仪•样品尺寸:•150mmx150mmx92mm•承载4.5kg•垂直分辨率:•横向分辨:•0.3µm(±150nm)•AcuityXR0.15µm(±75nm)•基于白光干涉原理
德国Bruker Contour X 白光干涉光学轮廓仪
•样品尺寸:
•150 mm x 150 mm x 92 mm
•承载 4.5 kg
•垂直分辨率:
•横向分辨:
•0.3µm (±150nm)
•AcuityXR 0.15µm (±75nm)
•基于白光干涉原理,结果可溯源
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