ZEISS 高分辨电子扫描显微镜-EVO 10,具备自动化工作流程的高清晰扫描电镜

技术规格

设备主要部件及技术要求：
该项目的设备必须是全新设备且整体进口（包括所有零部件，元器件和附件等），满足各自的技术指标和性能，其性能应达到水平，可靠性好，性能稳定，控制精度高，使用、操作和维修方便，售后服务优良，必须在河南地区常驻有售后工程师以方便后期维护。

1、基本要求

1.1 电子光学系统

1.1.1 发射源：钨灯丝；
1.1.2 分辨率：高真空二次电子像 ≤3.0nm @30kV≤8.0nm @3kV低真空背散射电子像 ≤4.0nm（30kV）；
1.1.3 加速电压范围：200V－30kV，10V 步进连续可调；
1.1.4 放大倍数范围不小于：7X－1,000,000X，连续可调；
*1.1.5 探针电流范围：0.5 pA~5μA，连续可调；
*1.1.6 电子束控制模式不少于以下几种控制模式：分辨率模式、分析模式、大视野模式、大景深模式和鱼眼模式；
*1.1.7 分析工作距离不大于 8.5mm 且分析工作距离下的视野范围不小于 6mm，普通模式下视野范围不小于 20mm；

1.2 真空系统

1.2.1 抽真空系统：涡轮分子泵 + 机械泵，不需要冷却水
1.2.2 样品室真空度：优于优于 3 x 10-4 Pa
1.2.3 抽真空时间：≤3 分钟

1.3 样品室及样品台
1.3.1 样品室内部尺寸不小于 310mm（直径）×220mm（高）；3
*1.3.2 可放置的样品尺寸和承重：样品直径不小于 230mm，高度不小于 100mm，样品台承重不小于5kg；
1.3.3 配备探测器：高真空二次电子探测器，背散射电子探测器，样品室红外 CCD 摄像装置
*1.3.4 配置五轴马达驱动样品台：样品台马达移动范围：不小于 80mm（X 方向），100mm（Y 方向），35mm（Z 方向），-10°~ 90°（倾斜），360°（旋转）
1.3.5 样品台类型：全电动 5 轴马达驱动样品台，双轴摇杆操作系统；
1.3.6 样品台具有接触报警与自停功能;
*1.3.7 马达台重复精度不低于 2um；

1.4 图像处理系统

1.4.1 配套计算机系统：不低于 CPU P4 3.0GHz，RAM 512Mb，硬盘 120Gb，软盘驱动器 1.44Mb，光盘刻录机，24″液晶显示屏，键盘，鼠标，USB 接口
1.4.2 显示图像分辨率：不小于 1024×768 像素
*1.4.3 单幅图像存储图像分辨率：不小于 32k×24k 像素
1.4.4 存储图像格式：TIFF、BMP 与 JPEG

1.5 控制系统

1.5.1 配置 Windows 操作系统
1.5.2 配置专业的电子显微镜控制软件
1.5.3 自动功能：自动电子枪启动，电子枪自动对中，自动偏压调整，自动和手动聚焦，聚焦补偿，动态聚焦，旋转补偿，自动消像散，图像降噪处理。
1.5.4 图像采集：像素平均、帧平均、帧积分、行平均、行积分；
1.5.5 显示器：24″高对比度彩色平板显示器；
1.5.6 显示方式：全屏显示、分屏显示、灰度直方图、轮廓方式、伪彩色；
1.5.7 图像注释与数据区：提供标准数据区和定制数据区，可在图片上显示各种电镜参数和字符。
1.5.8 状态菜单：显示各种工作

1.5.9 测量功能：可对图像中的形貌进行点间距、角度、直径等测量。

1.6 能谱仪系统

1.6.1 功能：用于材料的微区成分定性、定量分析。
1.6.2 配置电制冷能谱仪，能谱仪窗口面积不小于 30mm2，能量分辨率(600000CPS) Mn-Ka 优于129eV；
1.6.3 元素分析范围：Be4～CF98；
1.6.4 能谱仪处理单元与计算机采用分立式设计，单探测器输出计数率优于 600,000CPS，可处理计数率1,500,000CPS；4
1.6.5 可将电镜图像传输到能谱仪的显示器上，并以该图为中心做微区分析，实现点、区域定性定量分析，以及线扫描和面分布功能；
1.6.6 系统配置专业能谱仪数据处理工作站；

1.7 离子溅射仪

1.7.1 玻璃处理室：直径不小于 100 毫米，高度不小于 130 毫米；
1.7.2 试样台尺寸：直径不小于 40 毫米可同时放 6 个样品杯；
1.7.3 靶尺寸：直径不小于 58 毫米；
1.7.4 真空系统：直联旋片真空泵 1 升/秒；
1.7.5 真空检测：皮氏计；

1.7.6 真空保护：20Pa 配有微量充气阀调节工作真空；
1.7.7 工作室工作媒介气体：空气或氩气，配有氩气专用进气口和微量充气调节；
1.7.8 配置：内置一块金鈀。

2 、产品配置要求

为达到上述技术指标，投标产品应配置必要的硬、软件。投标产品不低于以下配置：
2.1 扫描电子显微镜 1 套；
2.2 RS232 能谱仪智能通讯接口 1 套；
2.3 电制冷能谱仪 1 套；
2.4 空气压缩机 1 套；
2.5 样品室内全自动控制红外 CCD 相机 1 套；
2.6 二次电子探测器 1 套，背散射电子探测器 1 套；
2.7 样品束流检测器或者束流检测皮安表 1 套；
2.8 不间断稳压电源 1 套；
2.9 碳导电双面胶带 2 卷和灯丝 1 盒（10 支）；


更简单、更智能、整合性更高

智能化成像 – 性能高效

EVO 能够提高制造和质量控制领域的工作效率。试想一下，将典型的工作流程从 400 多步操作简化为 15 步，以三种不同的放大倍率在 9 个样本上对感兴趣的 4 个点进行成像。智能化系统能够自动完成光路对中、调节放大倍率、聚焦和移动载物台 – 一切都为最终的图像采集，系统会根据所选的样品设置成像条件。通过易于操作的click-stop 按钮控制镜筒中间的光阑孔，从而获得可靠且重复性高的检测结果。

的表面成像能力

您可以在低电压下利用高分辨背散射电子探测器（HD BSD）实现具有清晰衬度的表面细节成像。针对电子束敏感样品或表面形貌分析，电子束减速技术能够提高分辨率及增强表面细节信息。成像过程中的漂移校正有助于进一步提高边缘分辨率。EVO 系列可提供包含高性能 HD 束源在内的三类电子束源技术，通过组合应用开创图像质量全新标准。

环境电子显微镜技术

EVO LS 可在不同温度、压力和湿度条件下观察生命科学样品及材料样品的纳米级信息。使用EVO LS 能获得细胞、植物和生物在自然水合状态下的细节信息。分析材料性能，如耐蚀性、耐热性及涂镀性能。EVO LS 型环境扫描电镜能在高达 3000 Pa 的压力下获取高品质图像，轻松完成含水样品的成像，同时利用计算机控制环境条件，以避免出现脱水假象。