德国Diener Bell Jar 35 研究型等离子清洗机

基本设备:

。外壳约宽560MMx高1640MMx深620mm

。腔室容积：约35升

。供电电源：230V/16A



气源:

。3个质量流量控制器（MFCs）



控制系统:

。PCCE控制系统（Microsoft Windows XPe）





发生器:

。频率：40KHz, 功率 0-500W

13.56MHz, 功率 0-300W

。直流偏置电源或单极性脉冲，功率300W，电压600V，直流电

。发生器为 0-99% 无级可调型

真空腔室:

。硼硅玻璃材质的玻璃罩，直径315MMx高500MM



真空泵:

。规格和制造商均各有不同（按照活性炭过滤器的需要）



溅射源:

。1个溅射源2"-3"+挡板（可为反应过程选配排烟管和进气口）



基材支架:

。直径140MM（可选择旋转型，基材加热器，基材冷却装置）

。可切换为等离子预处现的电极（清洗，活化，蚀刻）





压力测量:

。Pirani



其它选项:

备件套件，压力计，腐蚀性气体设计结构，气瓶，减压器，加热板，温度显示器，加热型腔室，Faraday Box, 等离子体聚合配件，试墨水，氧气发生器，慢速通风装置，慢速抽吸装置，TEM样品架法兰，维护/服务，当地语言的文件，现场安装，包括培训，可应需求提供的其它选项。