Axia ChemiSEM 智能型钨灯丝扫描电镜
【特点与应用】
实时成分信息:同步扫描获取多种信号时执行能谱分析,实时检测形貌与元素信息;
成像平台即时可用:只需关注数据采集,不必忧虑电镜条件设置;
更快获得数据:多种成像和扫描策略,优化图像采集效果并提升系统处理能力;
灵活的样品台设计:全开门式设计,大样品可轻松加载到样品仓内,样品10 kg;
的成像性能:提供低真空模式和电子束减速模式用于消除荷电效应。
【技术参数】
发射源:预对中钨灯丝
分辨率:
高真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);8.0 nm@ 3 kV(SE)
高真空下减速模式
7.0 nm@ 3 kV(BSE)
低真空成像
3.0 nm@ 30 kV(SE);4.0 nm@ 3 kV(BSE);10 nm@ 3 kV(SE)
放大倍数:5 ~ 1,000,000×(宝丽来相纸放大)
加速电压范围:200 V ~ 30 kV
探针电流范围:可达到2 μA,连续可调
低真空范围:高达150 Pa
X-Ray工作距离:10 mm,EDS检出角:35°
样品室:内宽280 mm,端口10个
样品台:五轴全自动马达驱动
X=120 mm
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