流量/压力范围
±5.0 mbar [2.0 in H20]
+200 SLPM
0 毫巴至 1.25 毫巴 [0 H20 至 0.5 H20]
+30.0sccm
0 毫巴至 5.0 毫巴 [0 H20 至 2.0 H20]
±1000 sccm (1 SLPM)
工作温度
-25°C 至 85°C [-13°F 至 185°F]
仟渔 |
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