激光一维分束、激光二维分束、线条分束、点阵分束，激光一分二，激光一分四

1064nm激光分束元件、10.6μm激光分束器、激光分束镜，1064nm分束一分二

激光分束元件的定义是使一束入射激光分束为多个激光光束的元件。分束之后的激光数量可以是2束，也可以是几百束，可以是一维排布，也可以是二维排布。Holoor的激光分束元件可以将激光光束分化为任意个数子光束，同时不改变初始光束的特性（当然，光束能量和传输方向除外）。

激光分束元件可应用于许多领域，如激光材料加工，激光传感，光通信，光学图像处理，微电子，显微镜等。具体例子包括激光打标、激光划片/切割、多孔同时加工、激光传感、高速激光毛化、光纤耦合等。激光钻孔的具体应用包括包装工业中易撕裂的纸箱和金属膜，香烟水松纸，方便面筛孔，液体和气体排放管道，汽车安全气囊中金属片的预先弱化。在激光加工领域，高效激光打标、太阳能电池划片已经通过激光分束元件取得了非常好的效果。在激光打标或划片时，光束的数量的多少直接决定激光加工效率，例如两束激光的加工效率比单束激光提高一倍。这两束激光可以是紧邻的或者有一定夹角，两束光的光斑距离可以为1~2mm，也可以为几十甚至>100mm，根据激光加工的实际要求来确定。国外的公司已经有类似成熟的方案，具有非常好的稳定性和加工效率。

我们不仅能够提供一维的激光分束元件，而且可以提供二维的激光分束元件，也可以实现线光斑阵列。光束的数量、光束间的夹角、直线的长度和数量都可以任意定制。HoloOr提供大量的标准品供客户选择，仅1064nm一个波长就有约100种标准型号，其中一维激光分束器的规格包括但不限于1×2, 1×3, 1×4, 1×5, 1×7, 1×9, 1×11, 1×101，二维激光分束器的规格包括2×2, 3×3, 2×3, 100×100, 128×64等等，可达百万束。

激光光束分束元件的特点

1. 对入射激光无要求，可以单模或多模激光输入，都光束直径、光束质量都无特别要求

2. 分束后能量和波致性好，分束之后每束激光的能量和波致对于激光加工的效果非常重要

3. 安装方便，对准直和中心轴位置不敏感

4. 覆盖紫外到红外的所有激光波段，193nm to 10.6um，我们提供国内供应商不能提供的二氧化碳激光分束元件

激光光束分束元件的应用

激光打标、激光打孔

太阳能电池激光划片、玻璃切割、LCD模组切割

机器视觉，3D传感器，3D体感，三维扫描

生物医学，激光美容，激光整形，激光去斑、激光显示，激光照明、光纤光学

激光光束分束元件的定制

1）Holo/Or设计生产的激光分束元件可以定制出射光的排布和形状

一般而言，标准规格的激光分束器可以生成一维阵列（1×N）或二维矩阵（M×N）。激光分束器还可以生成一个多条直线的阵列。如果用户需要定制激光分束元件，需要提供激光波长，光斑大小，工作距离以及各光束的发散角等参数。

2）Holo/Or设计生产的激光分束元件还可以定制能量的不均匀分布

基于强大的开发设计能力，我们还可以为客户定制能量分布不均匀的激光分束元件，比如某些特定的级次激光能量为50W，而另一些特定级次的激光能量为10W，而这些级次之间的能量均匀和一致性又控制得非常好。如果您还有其它科研级的定制需求，欢迎随时联系Holo/Or中国区代理商——维尔克斯光电光电。

激光光束分束元件的安装使用

通常，客户都会配合聚焦透镜进行试用，这设计时需要客户提供透镜的焦距，因为光束之间的夹角是固定不变的，这样确定各光束之间的距离。使用时，聚焦镜放置在分束元件之后。

由于衍射光学原理的显指，双光束分束元件的效率一般可达到80%，对于多光束（至少为3）的分束元件，利用二元多阶结构，效率可以从85%到95%，且其多余的能量以杂散光的形式损耗。为了得到更好的分束效果，需要客户提供初始的光斑大小，光斑大小需要至少为刻蚀周期大小的3-5倍，5倍以上效果。

激光分束元件的标准规格

1）1064nm一维激光分束元件标准规格

型号光束数量激光波长

[nm]角度°

[deg]透镜尺寸

DOE [mm]

DS-002-I-Y-A210640.2727.94

DS-026-I-Y-A210640.09927.94

DS-217-I-Y-A210640.2725.4

DS-224-I-Y-A210640.1220

DS-238-I-Y-A210641.4225.4

DS-210-I-Y-A210640.2911

DS-209-I-Y-A210640.1511

DS-208-I-Y-A210640.2711

DS-213-I-Y-A210640.03838.1

DS-215-I-Y-A210643.3911

DS-029-I-Y-A210640.09915

DS-207-I-Y-A210640.1515

DS-199-I-Y-A210648.7211

DS-006-I-Y-A210642.5425.4

DS-034-I-Y-A210640.03838.1

DS-198-I-Y-A210647.6325.4

DS-197-I-Y-A210645.0811

DS-218-I-Y-A2106414.3811

DS-196-I-Y-A210644.1325.4

DS-195-I-Y-A210641.0525.4

DS-194-I-Y-A210641.0527.94

DS-193-I-Y-A210640.9625.4

DS-192-I-Y-A210640.9627.94

DS-191-I-Y-A210640.9225.4

DS-190-I-Y-A210640.9227.94

DS-189-I-Y-A210640.515

DS-188-I-Y-A210640.1825.4

DS-187-I-Y-A210640.1827.94

DS-186-I-Y-A210640.1425.4

DS-222-I-Y-A210642.1811

DS-185-I-Y-A210640.1420

DS-184-I-Y-A210640.09425.4

TS-239-I-Y-A310641.5615x15

TS-238-I-Y-A310641.6911

TS-237-I-Y-A310641.6915x15

TS-236-I-Y-A310641.8315x15

TS-003-I-Y-A310640.06827.94

TS-235-I-Y-A310642.0725.4

TS-234-I-Y-A3106415.4312x12

TS-008-I-Y-A310641.2725.4

TS-268-I-Y-A310640.2327.94

TS-249-I-Y-A310640.07311

TS-027-I-Y-A310640.07627.94

TS-250-I-Y-A310640.07220

TS-224-I-Y-A310640.4620

TS-256-I-Y-A310640.01627.94

TS-028-I-Y-A310640.0527.94

TS-216-I-Y-A310640.4625.4

TS-213-I-Y-A310642.5411

TS-212-I-Y-A310644.3611

TS-211-I-Y-A310643.8125.4

TS-254-I-Y-A310640.01938.1

TS-251-I-Y-A310640.05920

TS-031-I-Y-A310645.0925.4

TS-210-I-Y-A3106415.4325.4

TS-257-I-Y-A3106415.4310.7x10.7

TS-252-I-Y-A310640.04720

TS-205-I-Y-A310640.09127.94

TS-204-I-Y-A310642.4425.4

TS-277-I-Y-A310640.06838.1

MS-545-I-Y-A610640.05425.4

MS-579-I-Y-A610640.06438.1

MS-501-I-Y-A610642.5925.4

MS-473-I-Y-A610642.4312.7x12.7

MS-298-I-Y-X710640.1915

MS-557-I-Y-X710640.04727.94

MS-272-I-Y-N710640.1915

MS-548-I-Y-X710640.1414x20

MS-519-I-Y-X710640.1411

MS-233-I-Y-X710640.725.4

MS-463-I-Y-X710640.2915

MS-271-I-Y-A710640.711

MS-278-I-Y-X710640.9511

MS-279-I-Y-X710640.8811

MS-107-I-Y-X710640.2925.4

MS-243-I-Y-A810641.4825.4

MS-549-I-Y-A810640.514x20

MS-320-I-Y-A810640.04525.4

MS-605-I-Y-A810640.07120

MS-400-I-Y-A810640.1425.4

MS-304-I-Y-A810640.04527.94

MS-605-I-N-A810640.07120

MS-438-I-Y-N910640.1111

MS-291-I-Y-N910640.1127.94

MS-453-I-Y-X910641.0525.4

MS-396-I-Y-X910640.0325.4

MS-331-I-Y-A 1010640.7619

MS-333-I-Y-A1010640.7611

MS-244-I-Y-A1010640.7625.4

MS-245-I-Y-A1010640.5725.4

MS-551-I-Y-A1010640.314x14

MS-589-I-Y-X1110640.5711

MS-327-I-Y-L1110641.529.8x9.8

MS-327-I-Y-S1110641.529.8x9.8

MS-592-I-Y-X1110640.1111

MS-556-I-Y-X1110640.5417x17

MS-590-I-Y-X1110640.2311

MS-316-I-Y-A1110641.211

MS-408-I-Y-A1210642.4415x15

MS-022-I-Y-X1510640.02825.4

MS-021-I-Y-X1510640.04425.4

MS-580-I-Y-X1510640.5417x17

MS-454-I-Y-A1510640.4420

MS-401-I-Y-A1610640.1425.4

MS-439-I-Y-X1910640.1511

MS-455-I-Y-A1910640.3820

MS-268-I-Y-X1910640.1525.4

MS-268-I-Y-A1910640.1525.4

MS-269-I-Y-X2510640.1125.4

MS-575-I-Y-A3210640.2625.4

MS-512-I-Y-X3310640.03625.4

MS-456-I-Y-A3510640.1720

MS-457-I-Y-A5110640.1720

MS-257-I-Y-A5110640.05725.4

MS-505-I-Y-X8510640.2520x20

MS-255-I-Y-X.05725.4

MS-542-I-Y-A.06210x10

MS-513-I-Y-X.03625.4