自动四探针电阻率mapping测试系统是为晶圆电阻率绘图mapping设计的工业级自动四点探针电阻率测试系统。采用成熟的行业标准，提供快速、准确和可靠的晶圆样品电阻率分布测量。

　　自动四探针电阻率mapping测试系统四点探针通过电流通过四点探针的外部点并测量内部点的电压来测量各层半导体晶片的平均电阻,可满足100mm、150mm、200mm或300mm晶圆测试,自动四探针电阻率mapping测试系统四点探头设计为免维护且非常易于使用。该自动四探针电阻率mapping测试系统有多种选择，包括广泛的热测试、非标准材料的定制卡盘和几乎任何应用定制的4点探针。

　　自动四探针电阻率mapping测试系统具有自动化软件,允许使用电阻率测绘mapping系统进行半自动化或全自动化测试。该软件设计简单但功能强大，允许用户轻松设置几乎任何类型晶圆结构的自动测试程序。基于LabView的软件具有逻辑结构，可以方便地集成客户自己的测试和测量设备。该软件可以安装在任何具有Windows XP或更高操作系统的计算机上。

　　自动四探针电阻率mapping测试系统特色

　　用户友好,快速而测量

　　软件设计操作简单，具有多种数据处理功能，可实现2D和3D电阻率mapping

　　适合大部分材料和结构测试

　　适合电阻率范围大,适合sheet resistance测量

　　适合温度范围-60℃到300℃

　　可选购1-，5-，9-，25-，49-,121-等多点探针测试型号，也可根据客户要求订制

　　可调真空样品卡盘,适合样品尺寸5mm~300mm

　　可定制真空或环境控制版本

　　自动四探针电阻率mapping测试系统规格参数

　　适合样品尺寸：5mm ~300mm

　　电阻测量范围：1 mΩ/sq. ~ 500MΩ/sq.

　　精度：0.3%

　　测量时间：5秒/点

　　XYZ分辨率 lt;1.5um

　　真空样品夹盘：多区真空

　　夹盘平整度：+/-13um

　　夹盘击穿电压：500V

　　夹盘隔离度 gt;1GW

　　温度范围：-60℃~300℃

　　数据输出：电阻率和电阻值，或者厚度