Ⅰ－１ 概要
氧气浓度测定记忆体RCM-O是和RCX-S组合后通过回流炉内的轨道和被测物一起移动，每隔一定时间测定炉
内的氧气浓度和温度，记录了数据的耐热型记忆体出炉后，通过连接电脑，读取氧气浓度，温度等数据的
系统。
Ⅰ－２ 特点
・ 可在加热状态下进入回流炉，测定氧气浓度曲线等的装置。
・ 可以测试实际基板位置上的氧气浓度便于工艺条件做出以及工艺管理。
・ 每个温区的氧气浓度以及温度曲线都在图标内表示。
Ⅰ－３ 使用环境
本测定器是通过通过回流炉来测定氧浓度和温度的装置。记忆储存器的内部温度过高，可能会导致IC、电
池等的破裂，使用时请注意。
测定时，记忆储存器的内部温度不要超过80℃。
另外，在继续使用的时候，请充分冷却记忆体后使用。
（内部温度超过45°的情况下为保护装置无法测试）
Ⅰ－４－１ 记忆体
项目 规格
型号 RCX-O ＜氧气浓度测定用追加记忆体模组＞
测量时间
镍氢电池 ：約40分
锂离子电池 ：約80分
取样时间
0.05秒、0.1秒、0.2秒、0.5秒、1.0秒、2.0秒、4.0秒、8.0秒
可任意设定（与记忆体RCM-S同调）
測定原理 ジルコニア限界電流式
測定范围 50ppm～5000ppm 或 1000ppm～10000ppm 任选一
氧气
測定精度
50ppm～1000ppm±5％FS
1000ppm～10000ppm±5％FS
1000ppm～5000ppm±10％FS
電源
由记忆体＜RCM-S>供给
镍・氢充电池(7号电池(AAA)×3)
或锂离子电池 ※
外形尺寸
记忆体：(W)50×(D)336×(H)18（㎜）(RCM-S装配时)
耐热外壳：(W)65×(D)370×(H)25（㎜）
重量 約950g 不含托架
※ 测定温度范围和测量时间为不考虑耐热性能的时间，不代表能在回流炉内可供测定的时间。
※ 不能使用碱电池和锰电池。
※ 电源购买时请选择7号电池或锂离子电池。