KASUGA春日静电电位监视装置KSD-0120
・能用1台控制器连接2ch的幅度电位传感器(KS-2100)、能廉价地制造静电监视系统。
・因为是小型传感器部、能设置在各种制造装置内比较窄的地方、连续监视可能。
・因为有警报设定、如果在超越了设定的电位时、能与各种制造装置传动。
・装备检出传感器的故障表示LED、能输出到外部。
用途
・监视平面显示器生产工序中的带电量。
・监视半导体硬芯片(wafer)的带电量。
・监视LSI 处理中及印刷电路板搬送中的带电量。
表示部
型式 | KSD-0120 |
表示范围 | 有效距离① ±1～±1999V |
有效距离②±0.01～±19.9KV | |
模拟输出 | 0～±5V |
测量精度 | ±10％以内 |
警报设定 | 2频道独立设定及正负独立设定 |
警报输出 | 集电极回路(警报设定输出及传感器故障输出) |
电源 | DC12～24V或AC适配器 |
消耗功率 | 20VA |
环境 | 温度0～40℃、湿度65％RH以下（没有结露） |
质量 | 约360g |
传感器部
型式 | KS-2100 |
检出方式 | 振荡型表面电位传感器 |
测量范围 | 有效距离① ±1～±2000V |
有效距离② ±0.01～±20.00KV | |
模拟输出 | 0～±5V |
测量精度 | ±10％以内 |
测量基准距离 | 有效距离① 10mm |
有效距离② 50mm | |
警报 | 检出传感器故障时LED表示，外部输出 |
电源 | 从KSD-0120供给 |
环境 | 温度0～40℃、湿度65％RH以下（没有结露） |
质量 | 约100g（不含电缆） |
付属品 | 专用电缆5m(可以到100m） |
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