HUGLE HS-7600
HS-7600
ダイシングフレーム及びウェハをフィルムにマウントしカットします。
気泡無く貼り付け可能で、またパターン面非接触式も製作可能です。
( 6 インチフレーム対応)
製品概要
ウェハのフィルムマウントは、高精度のダイシングを実現する上で重要な要素となります。
Model HS-7600 ウェハフィルムマウンティング装置は、常にフィルムにテンションを掛けた
状態でマウントする独自の構造により、ウェハとフィルム間に気泡を入れる事なく、確実なマウントを行ないます。
ウェハ表面の損傷に十分配慮した特殊ステージと、オペレーターの“ Skill "を必要としない組込み式ローラーの使用により高い“ Yield "を実現します。また、特殊仕様に対応可能な各種オプションも完備しています。
●ウェハサイズ 6 インチ
●各種ダイシングフレーム使用可能
●フィルム幅 HS-7600 : 240 mm
●ウェハ表面ヘの損傷防止の為の、特殊ステージ採用
●ステージ温度調整 MAX 100℃
●フィルム切断機構付
●ローラー圧の調整可能
イオナイザーによる静電気対策可
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