LDSS-60系列扫描电子显微镜简介
LDSS-60 SEM Introduction
一、产品命名规则：
LDSS-60系列产品作为基础款台式扫描电镜，能满足大部分用户的基本实验需求，配置SE二次电子探测器与BSE背散射电子探测器，载物平台可配置三轴（X,Y,R）手动平台，也可升级为五轴（X,Y,R,Z,T）自动平台，全系列产品均可配置EDS能谱分析仪，产品包括如下配置：
Item | Model | With Detector Option | WithStage Option |
Mini-SEM | LDSS-60 | LDSS-60S | LDSS-60S-MS |
LDSS-60D | LDSS-60D-MS | ||
LDSS-60D-ST |
型号命名规则如下：
二、简单说明：(Description)
（1）放大倍率6万倍（Magnification Max 60,000x）
（2）采用二次电子和背散射电子双重探测器（Signal Detection: SE Detector+BSE Detector）
（3）1kV~30kV加速电压选择，图像分辨率高（Accelerating Voltage:1kV to 30kV，High image resolution）
（4）通过选配EDS可进行元素成份分析（EDS is optional, for component analysis）
（5）高真空配置（High Vacuum System）
（6）Tilt（0~45）载物台配置（可选择）（Tilt Stage configuration( optional)）
三、 技术参数：(Product specifications)
分辨率（Resolution）
| 20nm (30kV, SE Image) |
25nm (30kV, BSE Image) | |
放大倍率（Magnification） | 30x~60,000x |
加速电压（Accelerating Voltage） | 1kV to 30kV (多档可选) |
图像检测 （Signal Detection）
| 二次电子图像-(SEI)-Secondary Electron Image |
背散射电子图像 (BSEI)-Backscattered Electron Image | |
* Multi Detector (SEI+BSEI) | |
观察模式 Observation mode | 标准模式 |
电子枪系统（Electron Gun） | |
灯丝类型（Filament type） | 预对中钨灯丝 |
偏压系统 lt; | |
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