ICP－MS电感耦合等离子体质谱是分析高纯物质中痕量杂质的有效的方法，具有背景质谱简单，检出限低等特点。对于高纯稀土的测定，ICP-MS又有更为明显的优点：背景谱简单，各稀土元素的灵敏度高且相近；质量数集中，利于优化测定参数。能够准确测定纯度在3N以上的高纯稀土中的杂质元素。

　　ICP-MS的应用领域

　　1、纯金属，材料，化合物

　　--高温合金

　　--高纯金属

　　--高纯稀土氧化物

　　2、环境监测

　　--饮用水

　　--固废

　　--土壤

　　3、核化学及核环境监测

　　--废渣及周边环境

　　--铀燃料生产

　　4、民生医疗

　　--药品

　　--食品，农业

　　5、地球化学

　　--矿物，沉积物

　　6、微电子工业

　　-- 过程化学

　　--有机试剂

　　仪器特点：

　　1、样品导入系统

　　敞开式进样系统，配备外部可装卸的玻璃同心雾化器与玻璃旋流雾室。

　　包含一个插入式自定位的标准整体型石英炬管，炬管被安装在一个紧凑的法拉第网格屏蔽箱内，阻止高频辐射。

　　在炬箱门上带有一个防止紫外辐射的观察窗口。

　　气体屏蔽装置阻止腐蚀性气体侵蚀质谱仪中的一些关键部件。

　　4通道12滚轮的蠕动泵，与进样系统紧凑的安装，速度可变，由计算机控制（到100rpm）。

　　2 、RF发生器

　　l 27.12MHz；计算机控制功率调整，从100W到1600W连续可调，步进间隔1W。

　　l 对于不同种类的样品，化功率设置被定义和存储在每个相应的方法中。

　　3、真空系统:

　　三级真空系统配置了高级的分流式分子涡轮泵，拥有*的气体排气量，顶端开启式真空室，更容易接近分析器组件。

　　真空室内部所有元件的电路连接都采用了固定在真空室顶盖上的金弹簧顶针接头，减少了连线，使RF高频泄漏降到最小，并确保电路通畅。

　　从大气压开始，20分钟即可抽到可工作状态。

　　真空度：关闭滑阀<5x 10-5Pa；操作仪器时<4x 10-4Pa

　　4、离子光学系统

　　光子和中性粒子的消除：离子偏转镜，使分析器和检测器保持与光轴离轴。

　　透镜组：带偏转的离子透镜组，具有极低的背景噪声，提供*的信噪比。

　　5、四极杆/质量分析器

　　四极杆配置：230mm x 12mm 并采用了更方便的非对称定位安装支架系统。

　　四极杆材料：钼和高纯氧化铝陶瓷支架。

　　四极杆设置时间：动态设置最小设置时间1ms

　　质量数范围：2到255amu

　　四极杆电源采用DDS（直接数字频率合成）技术，实现频率自动匹配。

　　6、碰撞反应池技术

　　动能歧视技术；使用碰撞气体（He）

　　有效地消除由样品基体或等离子源引起的各种多原子离子干扰，同时保持碰撞反应池内的副产物最小化。

　　不需要更多复杂的电路装置。

　　7、检测器

　　双排分列式打拿电极的电子倍增器，可以同时在脉冲和模拟模式下工作。

　　*的数模信号转换电路，同时配有*而新颖的检测器内的变压器系统，提供快速的模拟信号采集，增加信噪比，改善检测器在长期使用下的稳定性。

　　检测器采用插拔式设计，易于更换。

　　测量范围：大于9个数量级

　　8、数据采集

　　多通道分析器：50,000 通道。

　　循环累计：多通道缓冲器数据采集，允许快速不间断的数据采集。

　　在模拟和脉冲两种模式中，最小驻留时间为1ms。

　　跳峰模式，全扫模式，峰扫描模式，在一次样品数据采集中，可选用混合扫描数据采集模式，使用集成的软件进行时序分析。

温馨提示：

　　1、样品测定完成后，先用3-5%的稀硝酸冲洗2-3分钟，然后再用去离子水冲洗2-3分种后熄灭等离子体，松开泵夹。

　　2、 点火分析前确保驱气时间大于1小时，以防止CID检测器结霜，造成CID检测器损坏。

　　3、 定量测定时须在光室温度达到并稳定在38±0.2℃。CID温度小于-40℃时，点火15分钟后测定。