根据亨利定律，气体在水中的溶解度与水温和压力相关，在一定温度下，与气体的压力成正比。在一定的压力下，水温降低，气体溶解度增加，水温升高，气体溶解度降低。当降低水面的压力，而可在较低水温下，使溶于水中的气体析出，从而除去水中的气体。真空脱气（脱氧）机就是通过在机器中产生真空，将水中的游离气和溶解气释放出来，再通过自动排气阀排出系统，脱气后的水再注入系统，这些低含气量的水是不饱和水，对气体具有高度的吸收性，它将吸收系统中的气体以寻求气水平衡。如此循环往复，将系统水中的所有气体脱除。

进水阶段：

　　系统液体通过电磁阀进入脱气罐，液体中含有的所有气体都会被释出，并通过脱气罐顶部的自动放气阀与系统分离。

抽真空阶段：

　　随着进水电磁阀关闭，抽真空阶段的过程开始。立式多级泵会对罐内持续抽真空，制造负压状态，使液体中溶解的气体全部释出，聚集在罐的顶部并通过自动放气阀排出。此时进水电磁阀再次打开，新的液体进入罐内。那些无气的、有吸收性的液体被重新注回系统参与循环，并可以吸收系统中已有的气体。当这些液体再次进入脱气机时，那些新溶进的气体同样会被脱除。