碳化硅轴套,碳化硅陶瓷釜用密封件可以用于滑动轴承,
主要用于输送介质的屏蔽泵和磁力泵上,也可用于其它。
一种碳化硅滑动轴承用轴套,所述轴套为套筒状,
其特征在于:轴套内侧两端部为固定配合面1,
中部为非固定配合面2,轴套外侧中部为滑动配合面3,
两端为非滑动配合面4。具有随温度增高而发生自动变形、
补偿和吸收泵轴与碳化硅滑动轴承套热膨胀量的差异、
不对其外侧的碳化硅套产生具大涨力的优点,
从而克服了碳化硅套被涨碎的现象,增大了泵的使用范围,
提高其使用寿命,克服了现有技术之不足。
碳化硅陶瓷具有优良的常温力学性能,如高强度、
高硬度、高弹性模量等,的高温稳定性,如高导热系数、
低热膨胀系数等,以及良好的比刚度和光学加工性能,
特别适合用于制备光刻机等 集成电路装备用陶瓷结构件,
如用于光刻机中的运动工件台、骨架、吸盘、水冷板以及精
密测量反射镜、光栅等陶瓷结构件等,方泰新材经过多年的技术攻关
,解决了大尺寸、薄壁、中空等复杂结构碳化硅结构件的加工制备难题,
突破了该类碳化硅结构件制备技术的技术瓶颈,
推进了集成电路制造装备用关键结构件的国产化。
1、碳化硅陶瓷主要包含无压烧结碳化硅(SSiC)、反应烧结碳化硅(RBSC)、化学气相沉积碳化硅(CVD-SiC)
2、碳化硅具有各种的性能:超硬 高热导率和机械强度、 低热膨胀系数、 的热稳定性、低密度、高比刚度、无磁性。
3、目前在航空、航天、核工业等各个行业均有碳化硅陶瓷的应用,如碳化硅陶瓷反射镜,IC集成电路制造等装备用陶瓷部件,条件下的热交换器、材料等。
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