BPG400 INFICON皮拉尼复合真空规
BPG400皮拉尼复合真空计是将两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5*10-10毫巴到大气压(3.8*10-10托至大气压)复合的技术降低了安装设置和集成电路的复杂性。选择在一个经济型规管内的BPG400用于普及和可再现的过程中的基本压强测量。
BPG400 INFICON皮拉尼复合真空规优点:
极宽的测量范围。
*的重复性。
皮拉尼连锁保护,防止灯丝过早烧毁和高压运行产生的污染。
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BPG400 INFICON皮拉尼复合真空规用途:半导体工艺过程和传输室中的压强测量。工业镀膜,从低至超高真空范围的一般真空测量和控制。
BPG400 INFICON皮拉尼复合真空规
BPG400皮拉尼复合真空计是将两种真空计集成在一个小型的单元内,测量范围从5*10-10毫巴到大气压(3.8*10-10托至大气压)复合的技术降低了安装设置和集成电路的复杂性。选择在一个经济型规管内的BPG400用于普及和可再现的过程中的基本压强测量。
BPG400 INFICON皮拉尼复合真空规优点:
极宽的测量范围。
*的重复性。
皮拉尼连锁保护,防止灯丝过早烧毁和高压运行产生的污染。
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