INFICON B-A型皮拉尼复合真空计,BPG402-S,将两种真空计集成在一个简单小型的单元内,测量范围从5X10-10毫巴至大气压(3.8X10-10乇至大气压)。复合技术降低了安装,设置和集成的复杂性。选择一个经济型规管内的BPG402-S带有两根敷涂铱的氧化钇灯丝,用于普及和可再现过程中的基本压强测量。当更换传感器时,带有在机校准数据的传感元件保证高度的重复性。
优越性:
- 极宽的测量范围从5X10-10毫巴至大气压(3.8X10-10乇至大气压)
- *的重复性,过程压强范围从10-8…10-2毫巴均为5%
- 皮拉尼联锁保护B-A型系统,防止灯丝过早烧毁和高压强运行产生污染
- 两根敷涂铱的氧化钇长寿灯丝
- 可选图形显示和Fieldbus接口
- 自动高真空皮拉尼调整,减少操作人员的干预
- 易于更换传感元件,带有在机校准数据保证高度的重复性
- 符合RoHS
用途:
- 半导体工艺过程和传输室中的压强测量
- 工业镀膜
- 从低至超高真空范围的一般真空测量和控制
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