BDS SP 3、6和12骤射电源
BDS SP 3、6和12骤射电源
三个直接溅射工艺的新型 Bdis 电源系列。 可用范围:
* 3KW FS, 1000 Volt FS, 6 Amps 输出
* 6KW FS, 1000 Volt FS, 12 Amps 输出
* 12KW FS, 1000 Volt FS, 25 Amps 输出
适用检测 lt; 200 nSec)和数字接口。于中文件研发和工业样品溅射。
用于骤射沉积的新型 Bdiscom 直流电源。
一些亮点:
* 所有单元均配备用户友好的主动式触摸屏
*电压1.1kV
* 长时间检测 DV/DT 关闭 < 1mSec
* 冷却空气
电源要求:400VAC - 3PH 50Hz (±10%)
输出功率:3、6 和 12kw FS
电压输出:1000 V FS
输出电流:6、12 和 25 安培
电压:1.1K
持续时间 lt; 200 秒检测,时间 1 秒 DV/DT 检测,时间
效率 gt; 90%
显示:显示屏 240x128 像素
模式调节:功率/电压/电流(可选)
冷却:空气(强制)
接口:RS 232 - Profibus - A/D(Profibus 选项)
工作温度:5-40℃
尺寸:19" - 4HU
根据 EN 55011 的 EMC 分类:
这是一种 ISM(工业科学医疗)设备,符合 EN 55011 第 2 组 A 类标准。
CE标志 - 意大利制造
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