多种脱臭工艺的特征与经济性比较表
| 处理技术 | 设备投资 | 处理风量 | 处理浓度 | 运营成本 | 运行管理 | 脱臭效率 | 二次污染 |
| 光氧等离子 | 高 | 大 | 高 | 低 | 易 | 高 | 无 |
| 直接燃烧 | 高 | 小 | 高 | 高 | 难 | 高 | 有 |
| 活性炭吸附 | 低 | 中 | 低 | 高 | 易 | 低 | 无 |
| 化学催化 | 高 | 小 | 高 | 高 | 难 | 高 | 有 |
| 臭氧除臭 | 高 | 中 | 中 | 高 | 难 | 中 | 无 |
| 生物分解 | 中 | 中 | 中 | 低 | 难 | 中 | 有 |
废气处理技术的有效性取决于费用，剂量，引起异味的化合物的存在，取决于污染物的聚集效果，以及设备保养，空间限制，有毒物质含量等多方面因素。因此，脱臭技术还需要车间生产方面配合协作。
光氧等离子净化污染物的过程如下：
过程一：高能电子直接轰击
过程二：产生氧原子、臭氧、羟基自由基及小分子碎片
O2 + 2e → 2O·
O2 + O· → O3 + e
H2O + 2e → H· + HO·
H2O + O·+ e → 2HO·
H· + O2 → HO· + O
C(a+b)H(m+n)O(x+y) + 2 e → CaHmOx ·+ CbHnOy·
过程三：分子碎片氧化
CaHmOx + HO·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O·→ CO2 + H2O
CaHmOx + O2→ CO2 + H2O
CaHmOx + O3→ CO2 + H2O
经过光氧等离子净化后，废气尚含有部分小分子的物质及臭氧，采用水洗工艺可以对污染物进行进一步处理，同时减少废气中臭氧含量。相关反应机理如下：
H2O + e → H· + HO· + e
H· + O3 → O2 + HO·
HO· + O3 → HO2· + O2
HO2· + O3 → HO· + O2
因此在此过程中，部分小分子有机物可进一步被羟基自由基氧化而予以去除。
光氧等离子废气处理技术是一种新兴的高效广谱废气处理技术。该技术利用产生的等离子体，对污染物分子进行破坏裂解，可以将有机物分解，氧化，形成无害、无味的成分，从而达到达标排放的目的。
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