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技术文章--现代光学玻璃精密器件技术介绍

2023年06月30日 08:11:11      来源:深圳市富泰克光电有限公司 >>进入该公司展台     阅读量:3

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1. 何为精密光学玻璃器件

现代物理发展中随着原子分子物理研究的深入,对光学器件的精密化程度提出了更高的要求, 例如做原子冷却,光频标领域中会使用到石英玻璃真空腔器件来搭建磁光阱进行原子,这时会对真空腔的真空度,玻璃表面的平整度以及表面镀膜性能有的要求,这时候就需要对玻璃进行精密加工以满足其光学性能。所用到的材料包括石英玻璃和PYREX玻璃等。

                                                                                                                     典型的磁光阱结构

各种真空腔结构 

2. 现代光学玻璃精密仪器制造所用技术

   a)光胶合工艺(原子键合技术)

原理: 通过两个互相分开的部件表面上的原子之间的互相作用(相当 于原子键,远远超过共价键等),再辅佐以特殊的后续处理等,使得 两个原先分离的界面,的紧密结合(融合)。
性能: 通过原子级的结合,a)不仅结合强度---相当于一个无法分 开的整体结构,强度超过 8MPa;b) 气密性---目前的测定条件 下,超过 10-11m Pa M3/Sec 气密性。c) 界面没有光吸收;d)可以作 为光学核心元件,也可以作为具有复杂内部结构的机械核心元件。 已经被广泛地使用在各类科技前沿的领域中。使用温度条件是材料 本身的软化点等。例如石英材料制作的成品,可以高到 1200 度以上。 

b)光敏或者热敏胶合技术

       常温条件下,通过使用光敏或者热敏胶,胶合的成品具有光学特性。缺点是不耐高温,一般-20 度到+60 度,主要使 用于民用产品。 

c) 玻璃粉胶合技术

应用特殊微细玻璃粉作为胶合材料,可以制作各类形 状的光学部件。具有耐高温(400~900°C),超高结合强度的优点。缺 点是胶合面上存在光吸收。主要使用在暴光机等中,与胶合平行方向(不 穿过胶合层)作为通光方向時使用。 

d) 高温烧制结合技术

       虽然是最原始的玻璃结合技术,不过精度非常之高, 可以达到微米 um 级精度。 

3. 主要应用

       医疗仪器中的各种Flow-cell,曝光机中使用的椭圆反射镜,各类MOT超高真空腔,生化分析成型玻璃比色皿,MEMS领域使用的石英材质的微芯片。

 

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