一、布鲁克扫描探针显微镜Innova简介:
Innova扫描探针显微镜(SPM)具有高扫描分辨率、出色品质,可应用于物理、生命科学和材料科学等诸多领域。Innova具有很强的灵活性,能以较低成本满足各种科研应用要求。采用闭环扫描线性系统,较好的设计及工艺确保测量精度以及接近于开环运行时的噪音水平。Innova可以轻松的在90微米扫描管上实现原子级分辨率。集成的高分辨率彩色光学系统,以及可编程和电动Z轴载物台,使得寻找、对准被测区域,更换针尖或样品更加快速简便。
二、应用领域
1.材料科学:用于检查芯片表面的微小缺陷或评估生产工艺的影响。
2.生命科学:用于细胞表面形态观察、生物大分子的结构及性质研究等。
3.纳米技术:用于纳米材料的表征和纳米器件的研发等。
三、主要特点:
1.布鲁克扫描探针显微镜Innova在同类SPM中,性价比高。
2.闭环扫描控制,在开环噪声水平上提供三维精确测。
3.高分辨光学系统辅助精确探针定位。
4.快速更换探针, 开放的样品台设计使得使用更方便,更容易。
5.拥有所有SPM操作模式,为科学研究提供更高的应用灵活性。
6.信号读录与输入功能便于用户自己设计研究方法。
四、布鲁克扫描探针显微镜Innova技术参数
1.闭环扫描管:XY > 90 μm,Z > 7.5 μm
2.开环扫描管:XY > 5 μm, Z > 1.5 μm
3.样品尺寸:X-50 mm x 50 Y-mm x Z-18 mm
4.电动Z轴载物台:Z轴行程: 18mm
5.光学系统: 摄像头: 轴线彩色CCD,带电动变焦
6.视场:1.24mm x0.25mm (电动变焦,10x物镜)
7.分辨率:<2μm,标准10x物镜(50x物镜<0.75μm)
8.电子电路:20位DAC控制器,100kHz、±10v ADCs,数字反馈器件
9.系统软件:用于数据采集和分析的SPMLab™ v7.0,Windows® XP
