立式设备拥有高达1L的干燥仓专为大尺寸与批量样品处理而生
确保您的创新成果能够迅速转化为生产力
精密流体控制系统保护样品结构
创新的非机械搅拌技术与高精度慢速充液功能有效避免对MEMS、航空凝胶等脆弱微观结构的任何物理损伤
工业级可靠与高效,长期稳定
KM-V立式超临界干燥仪专为持续、高强度的运行而打造,坚固的结构与情性材料内腔确保耐用性与化学兼容性可调节腔体插件与内部双重过滤系统,在保证干燥环境的同时,显著降低CO,消耗与运营成本为您提供长久、稳定、高效的干燥解决方案
核心功能与技术优势
大尺寸样品处理能力
干燥仓容积最大可达1L,支持大尺寸晶圆(最大直径8英寸)及批量样品处理,一次性可处理多达5片晶圆,满足从实验室到生产线的多场景需求。
可选型号KM-V6、KM-V8,干燥仓口径分别为165mm和215mm,容积分别为680mL和1000mL,适配不同样品规模。
创新流体控制技术
非机械搅拌技术:摒弃移动部件,减少维护需求,避免对MEMS、航空凝胶等脆弱微观结构的物理损伤。
高精度慢速充液功能:专为脆弱样品设计,确保流体平稳渗透,保护样品完整性。
高效CO?管理系统
采用可调节腔体插入设计,缩小腔体内径以降低液态CO?消耗,同时配备双重过滤组件(过滤精度0.006微米,截留率99.9%)和初始流体纯化系统,确保CO?纯净度,提升干燥效率并降低成本。
自动化与智能化操作
配备VGA LCD电阻式触控屏,实时显示压力、温度及干燥进程,支持出厂默认设置或自定义配方保存,操作直观,减少人为误差。