薄膜厚度测试仪由光源、分束器、样品台、检测器、计算机等组成。光源发出一束光经过分束器分成两束，一束照射在样品表面并反射回来，另一束则不经过样品直接到达检测器。检测器会收集这两束光的信号，并计算它们之间的相位差，从而得出薄膜厚度。
在现代工业生产中，各种材料和产品都需要涂覆一层薄膜来保护、改善或增强其性能。而薄膜的厚度是影响其功能和质量的重要因素之一，因此准确测量薄膜厚度对于产品质量控制和研发过程至关重要。而薄膜厚度测试仪就是用于测量薄膜厚度的专业工具。
它可以测量各种薄膜(如金属、非金属、透明、不透明等)的厚度，并且能够在微米级别准确测量。它的原理基于光学干涉法，即通过测量反射和透射光的相位差来计算出薄膜厚度。这种方法不需要触碰样品表面，不会对样品造成破坏，同时具有高精度和高速度的优点。
有很多应用，例如在电子、光学、航空航天、医学等领域中，都需要准确测量薄膜厚度。在半导体制造中，可以帮助工程师监控晶圆涂覆过程中的稳定性和均匀性，保证芯片质量。在医学领域中，可以用于检测眼镜、隐形眼镜等视力辅助产品的膜层厚度，确保其符合标准。
SR-C紧凑型高精度反射膜厚仪，利用光学干涉原理，通过分析薄膜表面反射光和薄膜与基底界面反射光相干涉形成的反射光谱，快速准确测量薄膜厚度、光学常数等信息。
■光学薄膜测量解决方案；
■ 非接触、非破坏测量；
■ 核心算法支持薄膜到厚膜、单层到多层薄膜分析；
■ 是膜厚重复性测量精度：0.02nm
■ 配置灵活、支持定制化
