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桌上型半自动显影机|合肥重光电子科技

2026年08月13日 09:21:52      来源:机械汇 >>进入该公司展台     阅读量:6

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桌上型自动刻蚀机MSD-200F用于对刻蚀均匀性和一致性要求较高的表面处理工艺,外观采用PP、PVC、不锈钢镀特氟龙等材质,耐酸耐碱。适合硅片、磷化铟、碳化硅、氮化镓掩膜版等。蚀刻液成分为硝酸铈铵和冰醋酸的水溶液等,接触蚀刻液部位要求能抗腐蚀主要应用于4、6寸晶圆及方片.适合高校、研究所和企业研发部客户。

本司也提供8寸、12寸桌上型刻蚀机,更多功能如吹气、背洗等请咨询。

桌上型半自动显影机技术规格:

项目

规格

 

 

主体

外壳材质:PVC

处理样品尺寸:8寸晶圆以内

承盘:PTFE

马达:

转速:20-3000 R.P.M

摇臂:自动

操作界面:7寸触摸屏

 

显影装置

药液装置:

刻蚀液 x1

DIW  x1

 

 

控制系统

系统: PLC

使用接口:7寸触屏

配方:手动和自动模式

编程 : 50 组 20 步

 

 

安全装置

晶圆承盘真空渗液保护:

真空检知:

数字设定:真空值下限保护

运行结束报警提示

 

 

附件

真空泵x1

显影罐x1

去离子水罐x1

废液桶x1

真空吸盘x1

 

 

 

 

 

 

其它:更多配置要求请详细咨询厂家,以免购买不适宜产品,如过滤、稳压、流量显示、液位报警等功能。

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