沈阳新松机器人自动化股份有限公司
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一体化程度高，自动化程度高，安全区保护,SEMI认证S2、F47,网络化控制器,接口可用户定制，拥有新松自主研发的控制器，Aligner，方便在视窗观察的可拆卸单元门，易移动框架，带有隔离的风扇 过滤系统，可拆分的设备结构，从而保证设备洁净、可靠的运行……
SORTER是一个工厂材料传输设备，是一个与SEMI标准兼容的界面系统，可以手动或者配合AGV或OHT的承载水平传输晶圆。该系统提供单线接口供工厂控制，充裕的传输间距与工厂交互和简单的方式供人工服务。占地面积小，采用无X轴的双臂机械手，通过双轴复合运动实现取放片，*的提高了传片效率的同时而又降低了产品维护成本。内部全新的气体导流结构，保证内部空间洁净度能够满足iso class 1级别，保证晶圆传输过程的洁净度。内部带有多重互锁保护，从软件到硬件，多重保证晶圆传输过程中的安全，人员与设备的安全。
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