plasma等离子清洗机 镀膜前端处理

型号：PT-15S

*供电电源： AC220V

*工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

*射频电源功率： 0-600W

*射频频率： 40KHZ或13.56MHz选装 （偏移量小于0.2KHz）

*频率偏移量： 小于0.2KHz

*特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

*真空度： 30Pa—100Pa

*气体流量： 10—100ml/min(可调)

*过程控制： MCU自动与手动方式

清洗时间： 1-99999秒钟可调

功率大小 10%-99%可调

内腔尺寸 200mm×150mm×400mm

*外形尺寸： PT-15S型_650*520*500

*重量： 45Kg

*真空泵： 2XZ-6

*真空室温度： 小于65°C

*冷却方式： 强制风