PDMS和玻璃的贴合前端等离子清洗机

小型等离子清洗机

PT-5S型是双路气体输入，不锈钢舱体：Φ150mm×270mm

容量：5升

供电电源： AC220V

工作电流： 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)

射频电源功率： 300W

射频频率： 40KHz或13.56MHz 选装（偏移量小于0.2KHz）

频率偏移量： 小于0.2KHz

特性阻抗： 50欧姆，自动匹配

真空度： 10Pa—1000Pa

气体流量： 60—600ml/min(可调)

过程控制： MCU自动与手动方式

清洗时间： 1-100分钟可调

功率大小 10%-99%可调

外形尺寸： PT-5S型_400x450x250

重量： 36.5Kg

真空泵： 2XZ-4

真空室温度： 小于65°C

冷却方式： 强制风冷