等离子清洗机的原理及应用 PDMS键合实验测试机器
小型等离子清洗机
PT-5S型是双路气体输入,不锈钢舱体:Φ150mm×270mm
容量:5升
供电电源: AC220V
工作电流: 整机工作电流不大于1.2A(不含真空泵)
射频电源功率: 300W
射频频率: 40KHz或13.56MHz 选装(偏移量小于0.2KHz)
频率偏移量: 小于0.2KHz
特性阻抗: 50欧姆,自动匹配
真空度: 10Pa—1000Pa
气体流量: 60—600ml/min(可调)
过程控制: MCU自动与手动方式
清洗时间: 1-100分钟可调
功率大小 10%-99%可调
外形尺寸: PT-5S型_400x450x250
重量: 36.5Kg
真空泵: 2XZ-4
真空室温度: 小于65°C
冷却方式: 强制风冷
仟渔 |
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