物镜倍率 | 2.5× | 5× | 10× | 20× | 50× |
数值孔径 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 |
可测样品角度 | 4.3° | 7.5° | 17.5° | 23.5° | 33.4° |
光学分辨率@550nm（µm） | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
焦深（µm） | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 |
工作距离（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
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SuperView W1光学3D表面轮廓仪 产品型号：SuperView W1产品名称：光学3D表面轮廓仪影像系统：10241024（20482048，25921944可选）光学Zoom：1，（0.75，0.5可选）干涉物镜：2.5，5，10，20，50XY平台：尺寸320200mm，行程140110mm，电控XY横向分辨率：0.4mZ轴行程：100mmZ向分辨率：0.1nm单次Z向扫描范围：10.3mm，厚度重复性1nmZ向扫描速度：45m/s可测样品高度：100mm可测样品反射率：0.05%-水平调整：5粗糙度RMS重复性：0.005nm台阶高测量：准确度＜0.7%，重复性＜0.1% 1主要特点：非接触式无损检测，一键分析、快速高效......
物镜倍率 | 2.5× | 5× | 10× | 20× | 50× |
数值孔径 | 0.075 | 0.13 | 0.3 | 0.4 | 0.55 |
可测样品角度 | 4.3° | 7.5° | 17.5° | 23.5° | 33.4° |
光学分辨率@550nm（µm） | 3.7 | 2.1 | 0.92 | 0.69 | 0.5 |
焦深（µm） | 48.6 | 16.2 | 3.04 | 1.71 | 0.9 |
工作距离（mm） | 10.3 | 9.3 | 7.4 | 4.7 | 3.4 |
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