这些真空兼容的不锈钢平移台的设计能够让部件平稳、jing 确 地移动。每个交叉滚子轴承平移台都组装得十分干净洁净车间安装,涂抹了低气压润滑脂,在单轴或多轴移动下的角度偏差<150 µrad。
真空兼容交叉滚子轴承平移台,可达 10-6 Torr
平移台为清洁装配,且使用低气压润滑脂
控制 jing 确 且可实现平滑平移,偏差小于 150 µrad
无底座时也可用,适用于 zui 薄 型
超稳定亚微米级性能
产品规格
注释:
The 9067-COM-V stage is a 9067-X-V without a base plate.
-M metric versions have M4 and M6 threaded mounting holes.
Contact us for compatible vacuum adjustment screws and micrometers.
特征
使用低气压润滑脂进行清洁装配
真空兼容的交叉滚子轴承平台是清洁组装的,并且由适于在低至 10-6 托的真空压力中使用的低蒸气压油脂制成。9066 和 9067 版本不带底座,更便于集成到有体积限制的真空系统中。
jing 确 控制和平滑位移
这些真空兼容的交叉滚子位移台提供了可靠坚固的薄型线性位移。与其标准版本类似,负重安放在这些位移台的促动器上,水平和垂直方向(包括 X 配置位移台)上的载重能力高达 50 磅,并且可以锁定到位。这也可实现高达 50 磅的高载重能力。角偏差<150 μrad,且直线精度优于 3 微米,可达到通常所需的微米级行程精度。
Right or Left Handed Stage Configurations
These stages come in mirror-image right and left-hand versions for more flexibility in how you lay out your experiment on the table, so there&#39;s never a need to reach over your work to make adjustments on the far side.
Right or Left Handed Stage Configurations
These stages come in mirror-image right and left-hand versions for more flexibility in how you lay out your experiment on the table, so there&#39;s never a need to reach over your work to make adjustments on the far side.
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