Mag-NetX有源磁场抵消系统
Mag-NetX 设计用于任何带电束仪器，是一种的主动控制系统，用于补偿磁场波动。Mag-NetX 使用带有数字接口的专有模拟控制器为用户提供更实时的取消和连续监控，同时为用户提供简单的内置 LCD 或基于 PC 的图形用户界面 (GUI)。通过 GUI 显示测量场的连续监测允许在不依赖显微镜图像的情况下进行微调。或者，自动调谐可为典型的 SEM 应用提供轻松启动。
亥姆霍兹型配置可在独立的笼子中使用，安装在房间墙壁的轨道上，或直接安装在外壳内，Mag-NetX 可以根据您的需求和应用进行配置。
向 TMC 挑战您对扫描和透射显微镜、电子束光刻和离子束仪器的磁场补偿和振动控制的苛刻要求。
优势
带数字接口的模拟控制器––Helmolz 型线圈的模拟控制可实现更 jing 确 的实时 xiao 除。数字面板为用户提供简单的 LCD 读数或基于 PC 的图形用户界面 (GUI)。
现场调整的灵活性 –– 在启动时针对典型环境和应用进行自动调整，或针对更具挑战性的环境进行可调整的现场调整。
实时监控 –– 通过基于 PC 的 GUI 显示的测量场进行连续监控，即使不依赖显微镜图像也可以进行微调。
特征
亥姆霍兹线圈对可实现 zui 大 的对称性和均匀性
连续场取消和监测
多种交流和直流 xiao 除 模式可用
100 倍现场改进（典型）
动态，100 µs 响应
jing 确 的现场测量
具有连续系统监控和分析功能的图形用户界面
可选的线路频率和谐波前馈补偿
其他输入的可选前馈功能
可选的自定义字段创建，同时抑制干扰
易于组装的不锈钢笼，也可提供室内壁挂式系统
可提供任何尺寸的笼式系统
壁挂式和外壳安装式配置包括阻燃级电缆
表现
规格
| 系统 | |
| 系统组件 | 3 轴正交磁传感器、Mag-NetX 控制器、笼式亥姆霍兹型线圈对、外壳安装或壁挂式配置 |
| 主动磁场 xiao 除 轴 | X、Y、Z |
| 传感器类型 | 磁通门型，噪声 <10 pt/√hz @ 1 hz |
| zui 大 xian 度。环境直流场（取决于传感器） | ±70 µT 标准 高达 ±250 µT 可用 |
| 带宽（取决于笼子和传感器） | DC 至 1 kHz 典型值，zui 高 2 kHz |
| 动态范围（笼和频率相关） | ±10 µT 典型值，高达 ±100 µT 40 dB 典型值，55 dB zui 大 值 |
| 控制体积与磁场通量密度 | 50 m 3 @ 10 µT RMS（取决于笼子参数） 1 m 3 @ 50 µT RMS（标准控制器能够通过te 殊 的笼子结构 xiao 除 地球磁场） 10 m 3 @ 50 µT RMS（用于 xiao 除 更大体积的地球磁场带 te 殊 笼子和外部放大器） |
使用 36 x 36 x 52 英寸/ 91 x 91 x 132 厘米（长 x 宽 x 高）的典型笼子的传感器位置的场减少率； | 40 - 50 dB (100x - 300x) 典型值。在 DC 100 Hz 26 dB (20x) 典型值。在 100-500 赫兹 |
| 使用 60 x 60 x 84 英寸/ 1152 x 152 x 213 厘米（长 x 宽 x 高）的笼子时，典型电子 显微镜柱体积为 12 x 12 x 24 英寸/30 x 30 x 60 厘米时的场减少率 | X、Y：30 dB (32x) 典型值。在 DC 100 Hz X、Y：20 dB (10x) 典型值。在 100-500 Hz Z：15 dB (5.2x) 典型值。在 DC 100 Hz Z：10 dB (3x) typ in 100-500 Hz 0 dB @ 1000 Hz |
| 控制器 | |
| 方面 | 17 x 9 x 1.75 英寸/43 x 23 x 4.5 厘米 |
| 操作模式 | 上电后：
|
| 控制工具的类型 |
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| 正常 LED 指示灯 | 绿色=好的；黄色=警告/错误 |
| LCD 2x20 符号显示 | 显示菜单和状态 |
| 条形 LED 指示灯 | 显示补偿场的XYZ实时强度 |
| 4个方向键 | 用于 LCD 菜单导航 |
| US,B 接口（在 PC 上显示为 COM 端口） | 用于 gao 级 调谐/测试的图形用户界面，接受 ASCII 命令并显示菜单 |
| 辅助。模拟输入（背面 DB-37） | 可用作前馈或创建自定义字段 |
| GO - NO GO 信号继电器 | 二进制，用作受保护系统的输入 |
| 电源要求 | 90-240 VAC，50/60 Hz，zui 大 500 VA |
场景应用
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