XPS-7半导体材料气体检测仪
一、产品介绍
1、只要更换传感器单元就可以检测各种对象气体。
2、用盒式传感器单元无需进行气体检测器校正。
3、可以大幅度削减本钱和维护时间。
二、产品参数
型号 | XPS-7 |
检测原理 | 定电位电解式 |
检测气体对象 | 半导体材料气体 |
丈量范围 | 根据规格 |
分解能 | 全量程的百分之一表示 |
指示精度 | FS±10%以内 |
报警模式 | 2段报警方式 |
报警方式 | 蜂叫器(断续音)、报警灯闪烁 |
应答时间 | 60秒以内(60%应答) |
电源 | 5号碱性干电池4节或AC变压器 |
电池使用时间 | 连续12小时以上（使用碱性干电池无报警、20℃时） |
外型尺寸 | W62×H150×D128mm(突出部分除外) |
检测方式 | 泵吸引式 |
使用温度范围 | 0℃～40℃ |
重量 | 约1.3kg |
附件 | 肩背皮带、5号碱性干电池4节、过滤纸2张 |
选购件 | AC变压器、传感器通电台、数据收集配套元件 |
三、检测气体表：
对象气体一览表 | ||||||||
型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S | 型号 | 气体 | F.S |
XDS-7NH | NH3 | 100ppm | XDS-7GH | GeH4 | 1ppm | XDS-7HS | H2S | 50ppm |
XDS-7SH | SiH4 | 25ppm | XDS-7CL | CL2 | 5ppm | XDS-7CO | CO | 250ppm |
XDS-7DC | SiH2CL2 | 25ppm | XDS-7CF | CLF3 | 1ppm | XDS-7DS | Si2H6 | 25ppm |
XDS-7AH | AsH3 | 250ppb | XDS-7HC | HCL | 25ppm | XDS-7F2 | F2 | 5ppm |
XDS-7PH | PH3 | 1ppm | XDS-7HF | HF | 10ppm | XDS-7OZ | O3 | 1ppm |
XDS-7BH | B2H6 | 500ppb | XDS-7HB | HBr | 10ppm |
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XDS-7SE | H2Se | 250ppb | XDS-7NO | NO | 100ppm | |||
XPS-7半导体材料气体检测仪
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