粗糙度仪
粗糙度仪评定参数 | |
评定参数 | Ra、Rz、(Rmax、Ry)、Rt、Rp、Rpm、Rz(jis)、Rv、R3z、Rs m、Rsk、Rk、Rc、Rpk、Rvk、Mr1、Mr2 |
测量范围 | |
Z轴 | 800μm |
X轴 | 50mm |
直线度精度 | |
直线度精度 | 0.4μm |
分辨率（Z轴） | |
分辨率（Z轴） | 0.001μm |
采样数/分解能 | |
采样数/分解能 | 9600点/16bit |
滤波器 | |
滤波器 | 高斯(Gaussian)滤波器（ISO11562:1996），2RC滤波器 |
取样长度 | |
取样长度 | λc ╳3、4、5、6、7（1.0-17.5mm） |
截止波长 | |
截止波长 | 0.25,0.8,2.5 |
测量速度 | |
测量速度 | 0.1mm/s，0.32mm/s，0.5mm/s |
返回速度 | |
返回速度 | （自动） 1mm/s |
示值误差 | |
示值误差 | ±5% |
示值稳定性 | |
示值稳定性 | 3% |
测量重复性 | |
测量重复性 | 3% |
图形放大倍率 | |
图形放大倍率 | 10-500000自动调整 |
传感器 | |
传感器 | 针尖 R=2μm钻石（测量力1mN） |
R=5μm钻石(测量力4mN） | |
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