平面度检测仪器.
◆ 非接触式平面度测量接触
◆ 高精密评估: ＜0.4µm
◆ 测量速度快: ＜3秒
◆ 可用于车间现场, 100%全检
◆ 平面度评估符合ISO/TS12781-1(FLTt)
◆ 三维形貌评估软件, 可支持CNC编程批量检测
◆ 表面自动识别系统, 或手动区域(圆, 圆环, 矩形区域)评估
◆ 数据采集量大, 一次完成对300,000点的评估
◆ 快速生成报告并保存为.csv数据格式, 支持Q-das等统计分析软件
◆ 广泛应用于抛光, 研磨或细磨精密表面, 像阀门盘, 密封环等
平面度检测仪器.技术参数：
型 号 | TOPOS 50 | TOPOS 100 | |
测量范围(直径) | 50mm | 100mm | |
参考平面平面度 | 优于0.06µm | ||
参考面材料 | 石英玻璃 | ||
灵敏度 | 0.5,1,2或4µm每纹 | ||
精度 | (0.1¡0.4)um + 2%x测量值, 基于灵敏度 | ||
Z轴波动范围 | 低于100um, 表面斜度所限制 | ||
FLTt重复性 | 优于0.01µm1) | ||
分辨率 | 优于0.01µm | ||
数据采集量 | 300,000点 | ||
测量时间 | 小于2s | ||
整体尺寸 | 560mm X 300mm X 400mm | 680mm X 440mm X 880mm | |
重量 | 34kg | 80kg | |
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