这款主动磁场屏蔽消磁系统是专业为电镜等电子束仪器屏蔽磁场干扰而设计的主动磁场屏蔽和主动消磁装置系统.用于为科学仪器装置免受磁场干扰影响的环境.主动磁场屏蔽消磁系统在原有的磁场屏蔽室内增设主动磁场消磁仪器,为精密科学仪器提供磁场屏蔽环境。
主动磁场屏蔽消磁系统特点
模块化设计,降低维护成本，比如电源模块可单独取出更换而不需要维护整套系统
高电流输出,优化补偿线圈,带来更为可靠的使用
尺寸较小的传感器,25mm直径，60mm长度,方便安装到合适位置,带来更高的衰减因数
纯模拟设计，不会冲突，不会存在磁陷阱
被动制冷技术，无风扇，无噪音，更长使用寿命
安装超过500套
同时适合SEM和TEM显微镜
磁场补偿系统同时消除3轴磁性
可补偿直流电磁场和交流电磁场，补偿范围DC-1000Hz
大消磁能力高达3uT
全部工作频率衰减可达40dB
噪音水平低于0.7nT
6线圈设计提供更好的消磁和磁场补偿效果
主动磁场屏蔽消磁系统应用
扫描电子显微镜SEM
透射电子显微镜TEM
聚焦粒子束FIB
质谱仪器MASS
电子束光刻系统EBL
掩膜检测装置设备
晶圆检测系统
其它电子束EB仪器
干扰磁场无处不在,需要屏蔽消磁：
直流磁场：静磁场是指强度、方向基本不变的稳恒磁场。
交流磁场：指强度、方向发生周期性变化的磁场。
随机磁场：由地铁、汽车等通过时而产生的磁场・・・
电气设备・机器的运作/停止等引发的磁场・・・
磁场的紊乱会对精密仪器的性能带来不良影响
受直流磁场的影响，图像偏移不清；图像紊乱，图像消失不见；
受交流磁场影响：图像⾥有类似线条等出现
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