痕量气体分析仪是采用德国红外吸收光谱技术测量分子浓度的高灵敏度痕量气体分析系统，高灵敏度痕量气体分析仪可以根据灵敏度要求不同而灵活变化测量光程，从而提供各种ppb级敏度分析能力。
高灵敏度痕量气体分析仪应用
.科学研究（分析化学、大气化学、等离子体物理、真空科学）
?环境研究
?排放和引入监测（发动机、洁净室等）
?检测有毒工业化学品
?医疗诊断中的呼吸气体分析
?测定气体纯度（造气、医院等
高灵敏度痕量气体分析仪应用
.科学研究（分析化学、大气化学、等离子体物理、真空科学）
?环境研究
?排放和引入监测（发动机、洁净室等）
?检测有毒工业化学品
?医疗诊断中的呼吸气体分析
?测定气体纯度（造气、医院等
痕量气体分析仪概述
单路径红外光谱仪，有红外光源和长光程样品池
灵敏度 精确至ppb范围（取决于目标种类，温度，压力）
时间分辨率 小到毫秒
大小 700 mm x 1240 mm x 450 mm
重量 125kg
系统版本
? 痕量3.6 - 36 m 长光程样品池， 灵敏度可达6ppb
? 痕量5.4 - 54 m 长光程样品池，灵敏度可达4ppb
? 痕量 7.6 - 76 m 长光程样品池，灵敏度可达3ppb
? 痕量 10.0 - 100 m 长光程样品池，灵敏度可达2ppb 高灵敏度组件 部分
? 光学板
? 有外部的卡盒的笔记本电脑
? Herriot电池
? 真空泵系统
? 水冷却系统
高灵敏度参数
功率
? 230V，zui大2 A（开关电流6 A）
? 115V，zui大4 A（开关电流12 A）
工作范围 +5 °C 至 +40°C
量子级联激光器QCL
调谐方法
? 脉冲模式（激光扫描模式）
? 脉内模式（单脉冲模式）
脉冲宽度 8 ns* ... 256 ns**
*取决于使用的QCL和QCL-电压
根据要求，提供更长脉冲
脉冲频率 高达1MHz
量子级联激光器QCL的温度范围 - 35°C至+40°C
量子级联激光器QCL 测试和安装
高灵敏度痕量气体分析仪应用：
广泛用于工业气体分析，危害气体监测，生产线质量控制等
测量氢气中的ppb级硫气体含量
测量CO2中ppb硫气体含量
测量He, H2, Ar, O2, N2, CH4, C2H6, NH3, CO2, CO等普通气体的纯度和杂质
测量稀有气体Rn,He, Ne, Kr, Xe等稀有气体的纯度和杂质
测量半导体气体 C3F8, N2O, C2H2, C2H6,H2, SiH4, SiF4, HBr, CF4, CCl4, NF3, C2F6, C3H4, PH3, AsH3, SF6, NH3 的纯度和杂质
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