小型*是一款真正的全功能微型*，157nm(F2),193nm(ArF),248nm(KrF),308nm(XeCl),351nm(XeF)波长,脉宽7~9ns,重复频率250Hz/500HZ/750HZ,在248nm时激光功率高达8W，在193nm激光功率高达4W,采用超紧凑型48 X 26 X 26厘米、15千克、风冷封装。
小型*特点
内部法拉第笼确保超低电噪声
陶瓷/金属制造
寿命高达10亿次
固态开关
抖动2ns
小型*应用
•替代科研激光器
•电离源激光器
•紫外激光微加工
•精密激光标记
•准分子屈光手术
•拉曼光谱
小型*EX5规格
工作物质 F2 ArF KrF XeCl XeF
波长nm 157 193 248 308 351
大能量mJ 1.5/2.0* 12 20 8 6
峰值功率MW 0.25 1.75 2.5 1.0 0.75
平均功率W@250Hz 0.3/0.4 2.5 4.0 1.5 1.3
平均功率W@500Hz 0.5 5.0 8.0 2.5 2.4
重复频率 250/500/750
动态气体寿命50%能量10E6 12E6 18E6 10E6 15E6
50%能量保存期 10天 15天 30天 2个月 30天
脉宽ns 7--9
稳定性 <2%标准偏差
激光管寿命 20亿脉冲
光束尺寸mm 3X 6
发散角mRad全角度 1 X 2
冷却 空气/可选水冷
定时抖动 2ns标准偏差
重量 15kg 250/500Hz
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