产品规格

国华水平真空式等离子表面处理设备

国华GH-13MM系列等离子体表面清洗系统标准配置表
机台名称		等离子体表面清洗系统
机台型号		GH-13MM
机台用途		5种气体通入，不同组合用于不同工艺制造，可用于高频板PTFE类、软硬结合板、多层软板等除胶渣等制造工艺，柔性板化金前后清洗、打线邦定前清洗等处理，SMT前清洗等
技术参数			备注
1	机台整机规格	2000（W）1300（D）1960（H）
2	真空室规格	进口铝 1030（W）910（D)930（H）
3	电极板规格	进口铝900(W)*600（D)
4	单层有效处理区尺寸	814（W)*560(D)
5	真空电极结构	水平电极板13层, 处理12层工件
6	真空泵系统	汉中泵组
7	PLC自动控制系统硬件	OMRON/SIEMENS-PLC及扩展模块(D/A转换、A/D转换、温度控制）	日本欧姆龙/西门子
8	人机工控系统	触摸屏式全中文界面
9	变频控制系统	PID闭环控制，真空度可维持
10	机台冷却系统	采用内部独立中通冰水循环冷却系统
11	温度控制系统	日本欧姆龙OMRON温度传感模块，PID闭环控制，温度可控
12	冰水机	5.0P双泵
13	真空测定系统	皮拉尼电阻式真空计	日本爱发科
14	真空供气系统	Ф6品牌软管+不锈钢锁套管路	进口优质不锈钢
15	真空排气系统	全不锈钢管路+波纹管	进口优质不锈钢
16	破真空系统	倒计时自动开合启动
17	气体控制系统	电磁阀控制	日本CKD
18	气体计量系统	3路精确质量流量控制计：MFC	SevenStar
19	等离子发生器	额定功率：0-20KW，全自动匹配（国华自主研发）
20	其他组件	国内外元器件
21	机台总重	约2500kg
22	额定功率	额定功率 35KW
23	机台供电	AC-380V-50Hz，三相五线
24	腔体材质	进口铝
25	电极板数量	13层处理区12层
26	单次处理时间	10-60分钟不等（根据产品特征，时间设定不同）
27	工作真空度	0.15～0.3Torr （可根据要求设定，可恒定真空度）
28	真空泵极限压力	5pa以下
29	抽真空时间	抽到工作真空≤180秒
30	破真空时间	≤60秒
31	供气方式	电磁阀式
32	气体入口及流量计调节范围	5路独立MFC，N₂和CF₄，0-1000sccm（毫升/分钟）, O_2,0-3000sccm（毫升/分钟）
33	温度控制调节范围	5匹速冷，30-85℃可调
34	操作方式	人工取放工件，一键启动自动控制

设备厂务需求：

电源需求	AC380V，50/60Hz，三相五线 100A
压缩空气要求	0.5～0.8MPa，干燥
循环冷却水用量	约90L 纯水
真空泵排风	≥3立方/分钟，*尾气处理管道即可、直径50MM
冰水机抽风	≥2立方/分钟，*尾气处理管道即可、直径400MM
系统环境温度要求	≤30℃（室温）
工艺气体要求	0.6～0.8MPa：CF4=99.999%；O2=99.99%；N2=99.99%； H2=99.99%；Ar2=99.99%
场地需求	550035002500

服务优势

我们的服务分为售前服务、售中服务、售后服务和代加工服务。

售前服务

A: 专业的介绍加以专业人员的实践经验，让客户初步了解我们，通过试样让客户深入了解我们

的产品。

B: 多年从事等离子的工程师进入车间，针对用户的需求及生产情况，行之有效的工艺参数。

售中服务

A: 根据用户需求和生产做出设备的优化、解决方案。

B: 机型选择，客户报价，快速反应，一切从客户的实际出发。

售后服务

A: 快速的交期，让客户能以快速使用。

等离子表面处理

等离子表面处理器是一款广泛应用于印刷包装、硅橡胶制品、玻璃精密、电线电缆、电子数码、汽车制造、医疗生物，纺织工业、复合材料和新能源等几乎所有的工业领域的机械设备。

国华水平真空式等离子表面处理设备

低温等离子体中的粒子能量一般约为几个至十几电子伏特，大于聚合物材料的结合键能(几个至十几电子伏特)，*可以破裂有机大分子的化学键而形成新键，但远低于高能放射性射线，只涉及材料表面，不影响基体的性能。处于非热力学平衡状态下的低温等离子体中，电子具有较高的能量，可以断裂材料表面分子的化学键，提高粒子的化学反应活性(大于热等离子体)，而中性粒子的温度接近室温，这些优点为热敏性高分子聚合物表面改性提供了适宜的条件。通过低温等离子体表面处理，材料表面发生多种的物理、化学变化，或产生刻蚀而粗糙，或形成致密的交联层，或引入含氧极性基团，使亲水性、粘结性、可染色性、生物相容性及电性能分别得到改善。

应用领域

等离子处理器在印刷行业

等离子表面处理器在印刷包装行业的应用:采用等离子表面处理器处理胶结面工艺可以*的提高粘接强度，降低成本，粘接质量稳定，产品*性好，不产生粉尘，环境洁净。是糊盒机提高产品品质的解决方案。处理的材料类型包括:带有OPP, PP, PE覆膜的纸板、带有PET覆膜的纸板、带有金属镀层的纸板、带有UV涂层的纸板(UV油固化后本身不能脱层) 、浸渍纸板、PET,PP等透明塑料片材。其处理效果已得到国内外印刷公司的*肯定与认可。

等离子处理器在数码行业

等离子表面处理器在数码行业的应用:塑料作为取代金属的新型材料，其表面油漆相当不易，消费者经常反应买回去的

笔记本电脑或者数码相机不到一个月就出现了表面掉漆或者键盘文字褪色的问题。如果用其他化学方法处理，其价格高，污染大。而使用数码等离子处理机则处理表面颜色略有变浅，反光度降低，用手触摸可以感觉表面略有粗糙;使喷漆的附着性能大大增强。目前等离子表面处理器已经在诺基亚、苹果、康佳等外壳和键盘上广泛使用。

等离子表面处理器在汽车行业

等离子表面处理器在汽车行业的应用: 在目前已经广泛的应用于车灯、各种橡胶封条、内饰、刹车块、雨刮器、油封、仪表盘、安全气囊、保险杠、天线、发动机密封、GPS、DVD、仪表、传感器。汽车的门封条:在它的表面如果要上漆或者植绒，由于其材料多为橡胶制品，相当不易粘接。如果用化学清洗，既是离线的，又会污染环境，用在线等离子处理机是理想的解决方法。汽车车灯处理时，都会使用胶结来满足配光镜与壳体之间的防漏要求，用等离子表面处理器对胶结表面进行预处理，得到了即便宜又高质量的胶结结果，并与生产线密切结合而实现了连续化生产。目前已通过对比亚迪、克莱斯勒、通用、奥迪等多款汽车处理，*。成为国内大多数汽车制造商或汽车零部件供应商的品牌。

LCD柔性薄膜电路贴合

触摸屏、笔记本电脑的显示屏等产品的生产过程中显示屏和柔性薄膜电路的连接过往采用热压法，即将柔性的薄膜电路通过加热和加压的方式直接贴合到 LC

D带有接线点的玻璃上，这种工艺要求玻璃平面洁净，但在实际的生产、仓储、运输过程中玻璃表面很容易收到污染，如不进行清洗，会不可避免地出现指印或尘埃。这些表面杂质颗粒造成的短路在一段时间内会使 LCD的显示节段出现故障，通常表现为:显示屏中出现显示缺失，或者显示紊乱。除此之外薄膜电路和玻璃因表面张力不高而导致的粘接不良也会造成故障。解决这一问题的传统方法是利用棉签和清洁剂，靠人工来对 LCD的玻璃进行清洁，但是这种处理方法会使废品率平均高达12%。利用等离子体技术对 LCD玻璃进行清洗，去除了杂质颗粒，提高了材料的表面能，使产品的成品率出现数量级的提高。同时由于射流低温等离子体是电中性的，因此在处理时不会损伤保护膜、ITO 膜层和偏振滤镜。该处理过程可以"在线"进行，并且无需溶剂，因此更加环保。

元件绑定前等离子处理

元件绑定:

低温等离子清洗技术在金属行业中的应用:金属表面常常会有油脂、油污等有机物及氧化层，在进行溅射、油漆、粘合、健合、焊接、铜焊和PVD、CVD涂覆前，需要用低温等离子处理来得到*洁净的表面。

等离子清洗技术在电子电路及半导体领域?的应用:等离子表面处理这门工艺现在正应用于LCD、LED、 IC，PCB，SMT、BGA、引线框架、平板显示器的清洗和蚀刻等领域。等离子清洗过的IC可显著提高焊线邦定强度，减少电路故障的可能性;溢出的树脂、残余的感光阻剂、溶液残渣及其他有机污染物暴露于等离子体区域中，短时间内就能清除。PCB制造商用等离子处理来去除污物和带走钻孔中的绝缘物。对许多产品，不论它们是应用于工业还是电子、健康等行业，其可靠性很大一部分都依赖于两个表面之间的粘合强度。不管表面是金属、陶瓷、聚合物、塑料或是其中的复合物，经过等离子处理以后都能有效地提高粘合力，从而提高终产品的质量。等离子处理在提高任何材料表面活性的过程中是安全的、环保的、经济的。

等离子表面处理器在塑料行业应用

等离子清洗技术在塑料及橡胶(陶瓷、玻璃)行业中的应用:聚丙烯、PTFE等橡胶塑料材料是没有极性的，这些材料在未经过表面处理的状态下进行的印刷、粘合、涂覆等效果非常差，甚至无法进行。利用等离子技术对这些材料进行表面处理，在高速高能量的等离子体的轰击下，这些材料结构表面得以大化，同时在材料表面形成一个活性层，这样橡胶、塑料就能够进行印刷、粘合、涂覆等操作。