产品概述：

● 高成本效益设备。

● 一次扫描涵盖所有凸块，产出真实3D数据。

● 适用于SEMI标准。

● 适用于所有基板类型。

● C4, solder ball, Cu-pillars, SRO, …。

● 适用于4”，6”，8”晶圆 。

● 工业标准数据端口。

NanoFocus半导体晶圆检测设备（人工装载）产品参数

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  NanoFocus | 半导体晶圆检测设备（全自动集成型）

  µsprint hp-hsi 2000

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日本KOSAKA小坂半导体晶圆检测设备人工装载

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